초록 ▼

본 발명은 전자제품 및 반도체 생산 공정의 증착, 현상, 식각 공정 등에서 배출되는 불산 폐액(5~15%)으로부터 불산을 회수하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법으로서, 좀 더 상세하게는 태양광, LED, LCD 및 반도체 산업의 제작공정에서 발생되어 버려지는 불산 폐액(5~15%)을 멤브레인 공정을 이용하여 다시 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조에 저장한 후, 원수 펌프를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부와, 상기 원수펌프에서 이송된 폐수를 1차 멤브레

본 발명은 전자제품 및 반도체 생산 공정의 증착, 현상, 식각 공정 등에서 배출되는 불산 폐액(5~15%)으로부터 불산을 회수하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법으로서, 좀 더 상세하게는 태양광, LED, LCD 및 반도체 산업의 제작공정에서 발생되어 버려지는 불산 폐액(5~15%)을 멤브레인 공정을 이용하여 다시 제품 생산 공정에 재이용할 수 있도록 산업 현장에서 발생하는 불산 폐액을 집수조에 저장한 후, 원수 펌프를 이용하여 멤브레인 시스템으로 이송하는 원수이송부와, 상기 원수펌프에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인 공정으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인 처리부를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인 공정으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부와, 상기 1차 멤브레인에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부로 구성되며, 상기 1차 멤브레인 처리부는 원수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과, 상기 2차 멤브레인 처리부는 1차 처리수 이송 펌프로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO42-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

불산 폐액을 집수조(20)에 저장한 후, 원수펌프(21)를 이용하여 1차 멤브레인 처리부(11)로 이송하는 원수 이송부(10)와, 상기 원수펌프(21)에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인(22)으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부(11)와, 상기 1차 멤브레인 처리부(11)를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인(26)으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부(12)와, 상기 1차 멤브레인(22)에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스(32')에 투입하여 1차 농축액에 존

불산 폐액을 집수조(20)에 저장한 후, 원수펌프(21)를 이용하여 1차 멤브레인 처리부(11)로 이송하는 원수 이송부(10)와, 상기 원수펌프(21)에서 이송된 폐수를 1차 멤브레인(22)으로 투입하여 고액 분리가 이루어지는 1차 멤브레인 처리부(11)와, 상기 1차 멤브레인 처리부(11)를 통과한 1차 처리수를 2차 멤브레인(26)으로 투입하여 1차 처리수 내에 존재하는 2가의 이온 성분을 분리하는 2차 멤브레인 처리부(12)와, 상기 1차 멤브레인(22)에서 걸러진 1차 농축액을 필터프레스(32')에 투입하여 1차 농축액에 존재하는 슬러지를 탈수하고 탈수여액은 집수조(20)로 이송하고 탈수케익을 위탁처리를 위한 슬러지 탈수부(32)를 형성하되, 상기 1차 멤브레인 처리부(11)는 원수 이송펌프(21)로부터 이송된 불산 폐액 내에 다양한 크기로 존재하는 고형성분(Suspended Solids)의 제거를 위하여 0.1㎛의 크기를 가지는 PVDF 또는 테프론 재질의 관상형 모듈(Tubular Type Module)의 1차 정밀 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 크기의 불순물을 분리하는 수단과, 상기 2차 멤브레인 처리부(12)는 1차 처리수 이송펌프(25)로부터 이송된 불산 폐액 내에 존재하는 황산이온(SO42-)과 같은 2가의 용존 이온성분(Dissolved Solids)의 제거를 위하여 강산과 강알칼리에 견디는 복합막 재질의 와권형 모듈(Spiral Wound Type Module)의 2차 나노 멤브레인(Microfiltration Membrane)으로 처리하여 불산 폐액 내에 존재하는 다양한 2가 용존 이온 성분들을 분리할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 불산 폐액 재이용 멤브레인 시스템 및 재이용 방법.