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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)듀라소닉 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-07 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500012337 |
과제고유번호 | 1425066846 |
사업명 | 중소기업기술혁신개발 |
DB 구축일자 | 2015-08-01 |
키워드 | 표면식각.고속에칭.손상.균일표면. |
□개발목표
계 획
▷ 1차년도 개발 목표
◦에칭 실험조 제작
- 세정 및 에칭을 위한 Unit제작
◦에칭의 최적 공정의 연구
- 고속/균일 에칭을 위한 초음파영향성 연구
- 약액의 최적화 연구
◦공정별(세정-에칭-린스-건조공정)
Unit의 구조 최적화 연구
▷ 2차년도 개발 목표
◦시작품 제작
- 장치의 Layout 설계
- Wafer 고속이송 기술 적용
- Isolation 구간(Etching부)의 안전성 설계
- 이중 인터록의 전용 프로그램개발
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