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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2013-0055699 (2013-05-16) | |
등록번호 | 10-1319530-0000 (2013-10-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130055699 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-05-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 히팅 자켓 제어 장치에 관한 것으로서, 본 발명은 반도체 설비의 챔버 내 가스를 배출시키기 위한 진공 배출관의 외주면에 설치된 히팅 자켓(Heating jacket)을 제어하고, 히팅 자켓의 구성 부분과 연결된 복수의 채널을 구비하는 히팅 자켓 제어 장치에 있어서, 상기 히팅 자켓에 설치된 온도 센서에서 측정된 온도 데이터를 입력받기 위한 센서 입력 모듈, 상기 각 채널을 통해 입력되는 히팅 자켓의 전류의 크기를 변경시키기 위한 변류기(Current Transformer) 모듈, 상기 히팅 자켓 제어 장치를 전반적으로 제
반도체 설비의 챔버 내 가스를 배출시키기 위한 진공 배출관의 외주면에 설치된 히팅 자켓(Heating jacket)을 제어하고, 히팅 자켓의 구성 부분과 연결된 복수의 채널을 구비하는 히팅 자켓 제어 장치에 있어서,상기 히팅 자켓에 설치된 온도 센서에서 측정된 온도 데이터를 입력받기 위한 센서 입력 모듈;상기 각 채널을 통해 입력되는 히팅 자켓의 전류의 크기를 변경시키기 위한 변류기(Current Transformer) 모듈;상기 히팅 자켓 제어 장치를 전반적으로 제어하며, 상기 센서 입력 모듈에 입력된 온도 데이터를 이용하여 상기
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