다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2013-0068363 (2013-06-14) | |
| 등록번호 | 10-1432155-0000 (2014-08-13) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020130068363 | |
| 발명자 / 주소 |
|
|
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2013-06-14) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 기판이 안착된 스테이지의 이동량을 측정하는 스테이지 스케일의 측정값을 보정하는 방법에 관한 것으로서, 스테이지 스케일이 변형되더라도 정확한 측정이 이루어지도록 하는 스테이지 스케일 보정 방법이다. 본 발명의 실시 형태는 일끝단과 타끝단을 잇는 길이 방향을 따라 팽창 또는 수축이 발생하는 스테이지 스케일의 일끝단 변형량 및 타끝단 변형량을 스테이지에 형성된 마크를 이용하여 측정하는 변형량 측정 과정과, 상기 일끝단 변형량 및 타끝단 변형량을 이용하여 스테이지 이동량 산출시에 적용되는 스케일 팩터를 산출하는 스케일 팩터 산출
일끝단과 타끝단을 잇는 길이 방향을 따라 팽창 또는 수축이 발생하는 스테이지 스케일의 일끝단 변형량 및 타끝단 변형량을 스테이지에 형성된 마크를 이용하여 측정하는 변형량 측정 과정;상기 일끝단 변형량 및 타끝단 변형량을 이용하여 스테이지 이동량 산출시에 적용되는 스케일 팩터를 산출하는 스케일 팩터 산출 과정;상기 산출한 스케일 팩터를 적용하여 스테이지의 이동값과 스테이지의 위치 보정값을 산출하는 스케일 팩터 적용 과정;를 포함하는 스테이지 스케일 보정 방법.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.