초록 ▼

태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치가 개시된다. 본 발명은 스플리터로부터 카세트로 이송되는 웨이퍼의 수분을 중앙과 에지로 각각 분사하는 에어 노즐을 설치하여 카세트에 수용되기 전에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거하여 웨이퍼가 수분에 의해 점착되어 서로 들러 붙는 것을 방지할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어와, 상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상

태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치가 개시된다. 본 발명은 스플리터로부터 카세트로 이송되는 웨이퍼의 수분을 중앙과 에지로 각각 분사하는 에어 노즐을 설치하여 카세트에 수용되기 전에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거하여 웨이퍼가 수분에 의해 점착되어 서로 들러 붙는 것을 방지할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어와, 상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐과, 상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐을 포함한다.

대표청구항 ▼

롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어;상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐;상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐;을 포함하고,상기 중앙노즐은 상기 에지노즐보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼에 에어를 먼저 분사하며,상기 중앙노즐 및 에지노즐은 에어 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성되고,상기 에지노즐은 상기 중앙노

롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어;상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐;상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐;을 포함하고,상기 중앙노즐은 상기 에지노즐보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼에 에어를 먼저 분사하며,상기 중앙노즐 및 에지노즐은 에어 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성되고,상기 에지노즐은 상기 중앙노즐에 대하여 상기 웨이퍼와 평행한 수평면 상에서 10-45도 기울어져 설치된 것을 특징으로 하는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치.