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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0074816 (2013-06-27) | |
등록번호 | 10-1455935-0000 (2014-10-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130074816 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-06-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치가 개시된다. 본 발명은 스플리터로부터 카세트로 이송되는 웨이퍼의 수분을 중앙과 에지로 각각 분사하는 에어 노즐을 설치하여 카세트에 수용되기 전에 웨이퍼의 수분을 완전히 제거하여 웨이퍼가 수분에 의해 점착되어 서로 들러 붙는 것을 방지할 수 있는 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치에 관한 것이다. 본 발명에 의한 태양전지용 웨이퍼 수분제거이송장치는 롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어와, 상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상
롤러들이 일정 간격으로 배열 설치되어 스플리터로부터 웨이퍼를 전달받아 카세트로 이송시키는 이송컨베이어;상기 이송컨베이어에서 이송되는 웨이퍼의 중앙부에 상기 웨이퍼 이송방향과 평행한 방향으로 에어를 분사하는 중앙노즐;상기 중앙노즐 양 옆에 인접하여 설치되어 상기 웨이퍼의 이송방향에 대하여 일정각도 기울어져 외측방향으로 에어를 분사하는 에지노즐;을 포함하고,상기 중앙노즐은 상기 에지노즐보다 앞쪽에 설치되어 웨이퍼에 에어를 먼저 분사하며,상기 중앙노즐 및 에지노즐은 에어 유입구보다 분출구의 폭이 크게 형성되고,상기 에지노즐은 상기 중앙노
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