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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0079827 (2013-07-08) | |
공개번호 | 10-2015-0006255 (2015-01-16) | |
등록번호 | 10-2106336-0000 (2020-04-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130079827 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-07-03) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
증착용 마스크가 제공된다.일례로, 증착용 마스크는 제1 방향을 따라 서로 이격되게 배열되며, 복수의 패턴 개구를 포함하는 복수의 증착 패턴부; 상기 제1 방향에서 상기 각 증착 패턴부의 양측에 배치되며, 복수의 홈을 포함하는 복수의 더미 패턴부; 및 상기 제1 방향에서 상기 복수의 더미 패턴부 중 최외곽 더미 패턴부의 외측에 배치되는 복수의 고정부를 포함하며, 상기 각 더미 패턴부의 최대 두께는 상기 각 증착 패턴부의 최대 두께 이상이고 상기 각 고정부의 최대 두께 미만이다.
제1 방향을 따라 서로 이격되어 배치되는 복수의 증착 패턴부;상기 제1 방향에서 상기 각 증착 패턴부의 양측에 배치되는 복수의 더미 패턴부; 및상기 제1 방향에서 상기 복수의 더미 패턴부 중 최외곽 더미 패턴부의 외측에 배치되는 복수의 고정부를 포함하며, 상기 복수의 증착 패턴부 각각은 복수의 패턴 개구를 포함하고,상기 복수의 더미 패턴부 각각은 상기 제1 방향을 따라 배치된 복수의 홈을 포함하고,상기 각 더미 패턴부의 최대 두께는 상기 각 증착 패턴부의 최대 두께 이상이면서, 상기 각 고정부의 최대 두께 미만인 증착용 마스크.
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