초록

본 발명의 금속 마스크는 제1 영역 및 제2 영역을 포함하는 금속 박막을 포함하고, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역 각각에는 상기 금속 박막을 관통하는 복수의 개구부가 정의되며, 상기 제1 영역의 개구부 밀도는 상기 제2 영역의 개구부 밀도보다 작고, 상기 제1 영역은 상기 개구부에 인접하고, 상기 금속 박막의 두께보다 작은 두께를 가지는 에칭부를 포함하여, 금속 마스크의 변형을 최소화할 수 있다.

대표청구항 ▼

제1 영역 및 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역을 포함하고, 제1 두께를 가지는 금속 박막을 포함하고,상기 제1 영역에는 상기 금속 박막을 관통하는 복수의 제1 개구부들이 정의되며,상기 제2 영역에는 상기 금속 박막을 관통하는 복수의 제2 개구부들이 정의되고,상기 제1 영역의 면적 대비 상기 복수의 제1 개구부들의 개수를 상기 제1 영역의 개구부 밀도로 정의하고, 상기 제2 영역의 면적 대비 상기 복수의 제2 개구부들의 개수를 상기 제2 영역의 개구부 밀도로 정의할 때 상기 제1 영역의 개구부 밀도는 상기 제2 영역의 개구부 밀도

제1 영역 및 상기 제1 영역에 인접한 제2 영역을 포함하고, 제1 두께를 가지는 금속 박막을 포함하고,상기 제1 영역에는 상기 금속 박막을 관통하는 복수의 제1 개구부들이 정의되며,상기 제2 영역에는 상기 금속 박막을 관통하는 복수의 제2 개구부들이 정의되고,상기 제1 영역의 면적 대비 상기 복수의 제1 개구부들의 개수를 상기 제1 영역의 개구부 밀도로 정의하고, 상기 제2 영역의 면적 대비 상기 복수의 제2 개구부들의 개수를 상기 제2 영역의 개구부 밀도로 정의할 때 상기 제1 영역의 개구부 밀도는 상기 제2 영역의 개구부 밀도보다 작고,상기 제1 영역은,상기 복수의 제1 개구부들이 정의된 투과영역; 및상기 제1 두께보다 작은 제2 두께를 가지는 에칭부를 포함하는 비투과영역; 을 포함하는 금속 마스크.