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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0109872 (2013-09-12) | |
등록번호 | 10-1405334-0000 (2014-06-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130109872 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-09-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 모입자의 표면에 복수의 보조 입자를 형성하는 연마 입자의 제조 방법과, 이러한 연마 입자가 연마 가속제 및 pH 조절제와 혼합하는 연마 슬러이의 제조 방법을 제시한다.
세륨을 포함하는 제 1 전구체 물질 수용액과 희석된 염기성 용액을 혼합한 후 열처리하여 다면체 결정면을 갖는 모입자를 제조하는 단계; 및상기 모입자가 혼합된 혼합액에 염기성 용액을 투입한 후 세륨을 포함하는 제 2 전구체 물질 수용액을 혼합하고 열처리하여 상기 모입자의 표면에 외측으로 돌출된 복수의 보조 입자를 형성하는 단계를 포함하는 연마 입자의 제조 방법.
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