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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0116201 (2013-09-30) | |
공개번호 | 10-2015-0037028 (2015-04-08) | |
등록번호 | 10-1544975-0000 (2015-08-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130116201 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2013-09-30) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 임피던스 매칭 장치 및 임피던스 매칭 방법을 제공한다. 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크는 구동 주파수(f)를 변경하는 주파수 가변 RF 전원과 부하 사이에 배치된다. 상기 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크의 임피던스 매칭 방법은 상기 임피던스 매칭 네트워크의 가변 리액티브 소자의 커페시턴스 또는 인덕턴스의 변화량을 목표 구동 주파수(ft)와 상기 구동 주파수(f)의 차이의 함수로 제어하는 것을 포함한다.
구동 주파수(f)를 변경하는 주파수 가변 RF 전원과 부하 사이에 배치된 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크의 임피던스 매칭 방법에서, 상기 임피던스 매칭 네트워크의 가변 리액티브 소자의 커페시턴스 또는 인덕턴스의 변화량을 목표 구동 주파수(ft)와 상기 구동 주파수(f)의 차이의 함수로 제어하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 방법.
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