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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0040487 (2015-03-24) | |
공개번호 | 10-2015-0039725 (2015-04-13) | |
등록번호 | 10-1983873-0000 (2019-05-23) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150040487 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-09-11) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 임피던스 매칭 장치 및 임피던스 매칭 방법을 제공한다. 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크는 구동 주파수(f)를 변경하는 주파수 가변 RF 전원과 부하 사이에 배치된다. 상기 가변 리액턴스 임피던스 매칭 네트워크의 임피던스 매칭 방법은 상기 임피던스 매칭 네트워크의 가변 리액티브 소자의 커페시턴스 또는 인덕턴스의 변화량을 목표 구동 주파수(ft)와 상기 구동 주파수(f)의 차이의 함수로 제어하는 것을 포함한다.
소정의 주파수 가변 범위를 가지고 임피던스 매칭을 위하여 구동 주파수를 변경하는 주파수 가변 RF 전원; 및상기 주파수 가변 RF 전원으로부터 출력을 제공받아 부하에 전달하는 임피던스 매칭 네트워크를 포함하고,상기 임피던스 매칭 네트워크의 가변 리액티브 소자의 커페시턴스 또는 인턱턴스를 변경하여 상기 임피던스 매칭 네트워크는 상기 주파수 가변 RF 전원이 설정된 목표 구동 주파수에서 동작하도록 유도하고,상기 임피던스 매칭 네트워크는 상기 임피던스 매칭 네트워크와 상기 주파수 가변 RF 전원 사이에 배치되어 상기 임피던스 매칭 네트워
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