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연합인증

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스크래치 테스트 장치 및 이를 이용한 박막의 접착력 측정 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01N-027/02
  • G01N-003/56
출원번호 10-2013-0136551 (2013-11-11)
공개번호 10-2015-0054295 (2015-05-20)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130136551
발명자 / 주소
  • 임지혁 / 경기도 수원시 영통구 매양로 *** 삼성전기
  • 이재상 / 경기도 수원시 영통구 매영로 *** 삼성전기
  • 함석진 / 경기도 수원시 영통구 매영로 *** 삼성전기
출원인 / 주소
  • 삼성전기주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매영로 *** (매탄동)
대리인 / 주소
  • 특허법인이지
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

스크래치 테스트 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 박막이 형성되는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부의 상부에 이격되어 설치되고, 상기 기판 지지부에 대한 상대적 이동에 의하여 상기 박막에 스크래치를 형성하고, 상대적 이동 중에 상기 박막을 가압하는 수직하중이 점차 증가되는 스타일러스; 상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 일 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제1 전극; 상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 타 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제2

대표청구항

일면에 박막이 형성되는 기판을 지지하는 기판 지지부;상기 기판 지지부의 상부에 이격되어 설치되고, 상기 기판 지지부에 대한 상대적 이동에 의하여 상기 박막에 스크래치를 형성하고, 상대적 이동 중에 상기 박막을 가압하는 수직하중이 점차 증가되는 스타일러스;상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 일 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제1 전극;상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 타 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제2 전극; 및상기 스타일러스의 상대적 이동 중에 상기 제1 전극과 상기 제

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