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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2013-0136551 (2013-11-11) | |
공개번호 | 10-2015-0054295 (2015-05-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130136551 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
스크래치 테스트 장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 일면에 박막이 형성되는 기판을 지지하는 기판 지지부; 상기 기판 지지부의 상부에 이격되어 설치되고, 상기 기판 지지부에 대한 상대적 이동에 의하여 상기 박막에 스크래치를 형성하고, 상대적 이동 중에 상기 박막을 가압하는 수직하중이 점차 증가되는 스타일러스; 상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 일 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제1 전극; 상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 타 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제2
일면에 박막이 형성되는 기판을 지지하는 기판 지지부;상기 기판 지지부의 상부에 이격되어 설치되고, 상기 기판 지지부에 대한 상대적 이동에 의하여 상기 박막에 스크래치를 형성하고, 상대적 이동 중에 상기 박막을 가압하는 수직하중이 점차 증가되는 스타일러스;상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 일 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제1 전극;상기 스타일러스의 상대적 이동 경로를 중심으로 타 측에 배치되고, 상기 박막에 전기적으로 연결되는 제2 전극; 및상기 스타일러스의 상대적 이동 중에 상기 제1 전극과 상기 제
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