초록 ▼

본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display) 기판 등의 세정 시 고효율의 세정효과, 높은 생산성 유지, 낮은 유지보수비용(CoO), 친환경 적인 요소를 충족시킴과 아울러, 정전기적 전하에 따른 재오염 및 손상을 방지하면서 반도체 디바이스의 특성 및 수율에 치명적인 영향을 미치는 오염물을 효과적으로 제거하기 위한 반도체 세정 장치의 구성 중 전해이온수의 pH 및 ORP(Oxidation Reduction Potential)를 측정하기 위한 pH/ORP 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에

본 발명은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display) 기판 등의 세정 시 고효율의 세정효과, 높은 생산성 유지, 낮은 유지보수비용(CoO), 친환경 적인 요소를 충족시킴과 아울러, 정전기적 전하에 따른 재오염 및 손상을 방지하면서 반도체 디바이스의 특성 및 수율에 치명적인 영향을 미치는 오염물을 효과적으로 제거하기 위한 반도체 세정 장치의 구성 중 전해이온수의 pH 및 ORP(Oxidation Reduction Potential)를 측정하기 위한 pH/ORP 측정 장치에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 세정 장치의 pH/ORP 측정 장치는, 내부에 pH 센서 및 ORP 센서 중 적어도 하나가 설치된 사각형 박스 형태의 샘플링 탱크; 상기 샘플링 탱크의 일 측벽의 하부 영역에 형성된 입수구; 상기 샘플링 탱크의 상부벽의 전체 영역 중 상기 입수구로부터 상대적으로 가장 먼 일부 영역에 형성된 출수구; 및 상기 샘플링 탱크를 수평면으로부터 일정 각도만큼 경사지도록 설치하기 위한 설치 부재를 포함하여, 전해이온수의 생성 시 발생된 가스(gas)가 샘플링 탱크의 내부에 정체되지 않고 외부로 모두 배기될 수 있도록 한다.

대표청구항 ▼

내부에 pH 센서 및 ORP 센서 중 적어도 하나가 설치된 사각형 박스 형태의 샘플링 탱크;상기 샘플링 탱크의 일 측벽의 하부 영역에 형성된 입수구;상기 샘플링 탱크의 상부벽의 전체 영역 중 상기 입수구로부터 상대적으로 가장 먼 일부 영역에 형성된 출수구; 및상기 샘플링 탱크를 수평면으로부터 일정 각도만큼 경사지도록 설치하기 위한 설치 부재를 포함하고,상기 설치 부재는 상기 샘플링 탱크의 후면에 상기 샘플링 탱크에 대해 일정 각도로 경사지게 부착된 사각형의 설치 판과, 상기 설치 판의 적어도 하나 이상의 모서리에 형성된 결합 부재를

내부에 pH 센서 및 ORP 센서 중 적어도 하나가 설치된 사각형 박스 형태의 샘플링 탱크;상기 샘플링 탱크의 일 측벽의 하부 영역에 형성된 입수구;상기 샘플링 탱크의 상부벽의 전체 영역 중 상기 입수구로부터 상대적으로 가장 먼 일부 영역에 형성된 출수구; 및상기 샘플링 탱크를 수평면으로부터 일정 각도만큼 경사지도록 설치하기 위한 설치 부재를 포함하고,상기 설치 부재는 상기 샘플링 탱크의 후면에 상기 샘플링 탱크에 대해 일정 각도로 경사지게 부착된 사각형의 설치 판과, 상기 설치 판의 적어도 하나 이상의 모서리에 형성된 결합 부재를 포함하고, 상기 결합 부재는 상기 설치 판을 특정 벽면에 결합하기 위한 것을 특징으로 하는 반도체 세정 장치의 pH/ORP 측정 장치.