[특허]평판 디스플레이 장치용 증착장치

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[한국특허] 평판 디스플레이 장치용 증착장치
DEPOSITION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY DEVICE 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/448 C23C-016/455
출원번호	10-2013-0157718 (2013-12-18)
공개번호	10-2015-0071108 (2015-06-26)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130157718
발명자 / 주소	이근우 / 경기도 화성시 삼성로 , 삼성디오네 오피스텔 호 박성현 / 경기 안성시 석정길 *-, *동 호 (석정동, 신원아침도시) 김경준 / 경북 안동시 송현길 , 동 호 (송현동, 안동송현이안아파트) 전영수 / 대전 대덕구 동춘당로 , 동 호 (법동, 그린타운아파트) 성명은 / 세종 금남면 용포길 -, *동 **호 (신성연기미소지움)
출원인 / 주소	주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제공단길 **
대리인 / 주소	특허법인 무한
심사청구여부	있음 (2013-12-18)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

평판 디스플레이 장치용 기판에 박막을 증착시키고, 증착 품질을 향상시킬 수 있는 평판 디스플레이 장치용 증착장치가 개시된다.평판 디스플레이 장치용 증착장치는, 기판 일측에 구비된 회전축을 중심으로 와이어와 같이 힌지 회전하면서 상기 기판에 서로 다른 종류의 증착 가스를 원자층 증착 공정의 순서에 따라 순차적으로 제공하는 노즐 어셈블리를 포함하여 구성된다.

대표청구항

평판 디스플레이 장치용 증착장치에 있어서,기판 일측에 구비된 회전축을 중심으로 와이어와 같이 힌지 회전하면서 상기 기판에 서로 다른 종류의 증착 가스를 원자층 증착 공정의 순서에 따라 순차적으로 제공하는 노즐 어셈블리를 포함하는 평판 디스플레이 장치용 증착장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

[한국] 원자층 증착설비 및 그의 원자층 증착방법 | 김기현, 임기빈, 최훈상, 한문형
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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