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[한국특허] 평판 디스플레이 장치용 증착장치
DEPOSITION APPARATUS FOR FLAT PANEL DISPLAY DEVICE
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C23C-016/448
  • C23C-016/455
출원번호 10-2013-0157718 (2013-12-18)
공개번호 10-2015-0071108 (2015-06-26)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130157718
발명자 / 주소
  • 이근우 / 경기도 화성시 삼성*로 ***, 삼성디오네 오피스텔 ***호
  • 박성현 / 경기 안성시 석정*길 **-*, ***동 ***호 (석정동, 신원아침도시)
  • 김경준 / 경북 안동시 송현길 **, ***동 ****호 (송현동, 안동송현이안아파트)
  • 전영수 / 대전 대덕구 동춘당로 ***, ***동 ***호 (법동, 그린타운아파트)
  • 성명은 / 세종 금남면 용포*길 **-**, ***동 ****호 (신성연기미소지움)
출원인 / 주소
  • 주식회사 케이씨텍 / 경기도 안성시 미양면 제*공단*길 **
대리인 / 주소
  • 특허법인 무한
심사청구여부 있음 (2013-12-18)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

평판 디스플레이 장치용 기판에 박막을 증착시키고, 증착 품질을 향상시킬 수 있는 평판 디스플레이 장치용 증착장치가 개시된다.평판 디스플레이 장치용 증착장치는, 기판 일측에 구비된 회전축을 중심으로 와이어와 같이 힌지 회전하면서 상기 기판에 서로 다른 종류의 증착 가스를 원자층 증착 공정의 순서에 따라 순차적으로 제공하는 노즐 어셈블리를 포함하여 구성된다.

대표청구항

평판 디스플레이 장치용 증착장치에 있어서,기판 일측에 구비된 회전축을 중심으로 와이어와 같이 힌지 회전하면서 상기 기판에 서로 다른 종류의 증착 가스를 원자층 증착 공정의 순서에 따라 순차적으로 제공하는 노즐 어셈블리를 포함하는 평판 디스플레이 장치용 증착장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 원자층 증착설비 및 그의 원자층 증착방법 | 김기현, 임기빈, 최훈상, 한문형
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