[특허]스퍼터 시스템

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[한국특허] 스퍼터 시스템 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-014/34
출원번호	10-2013-0161750 (2013-12-23)
공개번호	10-2015-0073724 (2015-07-01)
등록번호	10-1586690-0000 (2016-01-13)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020130161750
발명자 / 주소	허무용 / 경기도 화성시 동탄반석로 , 동 *호 (반송동, 동탄솔빛마을 신도브래뉴) 신상호 / 서울특별시 동작구 사당로가길 , *호(사당동)
출원인 / 주소	주식회사 에스에프에이 / 경기도 화성시 동탄면 영천로 **
대리인 / 주소	권영규; 한지희; 윤재석
심사청구여부	있음 (2013-12-23)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록

스퍼터 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터 시스템은, 표면에 블랙메트릭스 물질이 스크린 프린팅된 기판에 대한 증착공정이 진행되는 스퍼터 챔버; 및 스퍼터 챔버의 주변에 배치되며, 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱(Outgassing)으로 인해 스퍼터 챔버가 오염되는 것이 저지되도록 증착공정이 진행되기 전에 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱을 처리하는 아웃개싱 처리용 챔버를 포함한다.

대표청구항 ▼

표면에 블랙메트릭스 물질이 스크린 프린팅된 기판에 대한 증착공정이 진행되는 스퍼터 챔버;상기 스퍼터 챔버의 주변에 배치되며, 상기 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱(Outgassing)으로 인해 상기 스퍼터 챔버가 오염되는 것이 저지되도록 상기 증착공정이 진행되기 전에 상기 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱을 처리하는 아웃개싱 처리용 챔버; 및상기 스퍼터 챔버 및 상기 아웃개싱 처리용 챔버와 인라인(in-line)을 형성하며, 상기 기판이 상기 아웃개싱 처리용 챔버 내로 인입되기 전에 여러 장의 기판을 캐리어(Carrier)에 장착시키는 기판 로딩장치를 포함하며,상기 기판 로딩장치는,캐리어를 이송 가능하게 지지하는 캐리어 컨베이어(Carrier Conveyor);상기 캐리어 컨베이어에 이웃된 기판 로딩위치에 로딩된 다수의 기판이 상기 캐리어 컨베이어 상의 캐리어로 전달되어 상기 캐리어에 장착될 수 있도록 상기 캐리어 컨베이어에 이동 가능하게 결합되는 캐리어 로딩용 기판 핸들링 유닛;상기 다수의 기판이 적재되는 기판 적재용 카세트를 카세트 로딩위치로 이송시키는 카세트 로딩 유닛;상기 카세트 로딩 유닛에 이웃하게 배치되며, 상기 기판 적재용 카세트 내의 기판을 순차적으로 인출하여 기판 버퍼위치로 이송시키는 기판 트랜스퍼 유닛; 및상기 기판 버퍼위치와 상기 기판 로딩위치 간을 이송 가능하게 마련되어 상기 기판 버퍼위치 상의 기판들을 상기 기판 로딩위치로 이송시키는 기판 버퍼 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터 시스템.

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[한국] 기재의 표면처리방법, 의료용 재료, 의료용 기구 | 아베, 요시노리, 나카타니, 타츠유키, 오카모토, 케이시, 시라이시, 코헤이, 스기야마, 카조우
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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