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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7019090 (2022-06-07) | |
공개번호 | 10-2022-0097480 (2022-07-07) | |
우선권정보 | 영국(GB) 1916627.1 (2019-11-15) | |
국제출원번호 | PCT/GB2020/052842 (2020-11-10) | |
국제공개번호 | WO 2021/094725 (2021-05-20) | |
번역문제출일자 | 2022-06-07 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227019090 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-06-07) | |
법적상태 | 공개 |
스퍼터 증착 장치는 기판을 지지하도록 배열된 기판 지지 조립체; 기판 상으로의 타겟 재료의 스퍼터 증착에 사용하기 위한 적어도 하나의 스퍼터 타겟을 지지하도록 배열된 타겟 지지 조립체; 상기 스퍼터 증착을 위한 플라즈마를 제공하도록 배열된 플라즈마 생성 배열체; 및 상기 스퍼터 증착 후에 증착된 타겟 재료를 갖는 기판을 수용하도록 배열된 카트리지를 포함한다. 카트리지는 스퍼터 증착 장치로부터 제거 가능하다.
스퍼터 증착 장치에 있어서,기판을 지지하도록 배열된 기판 지지 조립체;상기 기판 상으로의 타겟 재료의 스퍼터 증착에 사용하기 위한 적어도 하나의 스퍼터 타겟을 지지하도록 배열된 타겟 지지 조립체;상기 스퍼터 증착을 위한 플라즈마를 제공하도록 배열된 플라즈마 생성 배열체; 및상기 스퍼터 증착 후에 증착된 타겟 재료를 갖는 상기 기판을 수용하도록 배열된 카트리지를 포함하며,상기 카트리지는 상기 스퍼터 증착 장치로부터 제거 가능한 스퍼터 증착 장치.
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