최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2013-0161750 (2013-12-23) | |
공개번호 | 10-2015-0073724 (2015-07-01) | |
등록번호 | 10-1586690-0000 (2016-01-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020130161750 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2013-12-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
스퍼터 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터 시스템은, 표면에 블랙메트릭스 물질이 스크린 프린팅된 기판에 대한 증착공정이 진행되는 스퍼터 챔버; 및 스퍼터 챔버의 주변에 배치되며, 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱(Outgassing)으로 인해 스퍼터 챔버가 오염되는 것이 저지되도록 증착공정이 진행되기 전에 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱을 처리하는 아웃개싱 처리용 챔버를 포함한다.
표면에 블랙메트릭스 물질이 스크린 프린팅된 기판에 대한 증착공정이 진행되는 스퍼터 챔버;상기 스퍼터 챔버의 주변에 배치되며, 상기 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱(Outgassing)으로 인해 상기 스퍼터 챔버가 오염되는 것이 저지되도록 상기 증착공정이 진행되기 전에 상기 블랙메트릭스 물질의 아웃개싱을 처리하는 아웃개싱 처리용 챔버; 및상기 스퍼터 챔버 및 상기 아웃개싱 처리용 챔버와 인라인(in-line)을 형성하며, 상기 기판이 상기 아웃개싱 처리용 챔버 내로 인입되기 전에 여러 장의 기판을 캐리어(Carrier)에 장착시키는 기판
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.