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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2013-7001529 (2013-01-21) | |
공개번호 | 10-2013-0132732 (2013-12-05) | |
국제출원번호 | PCT/EP2010/004528 (2010-07-23) | |
국제공개번호 | WO 2012/010186 (2012-01-26) | |
번역문제출일자 | 2013-01-21 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020137001529 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
법적상태 | 거절 |
웨이퍼를 고정하기 위한 평평한 수용측부를 가진 캐리어, 수용측부에 대해 수용측부에서 상승되고 격자형상을 가진 그리드 구조체, 상기 캐리어위에 상기 웨이퍼를 고정하기 위하여 상기 캐리어에 대해 상기 그리드 구조체를 덮고 밀봉하는 가요성의 커버 및 상기 커버 및 캐리어에 의해 경계가 형성되며 음압에 노출될 수 있는 그리드 공간을 가지며 상기 웨이퍼를 처리하는 동안 웨이퍼를 핸들링하기 위한 핸들링 장치에 있어서, 상기 그리드 구조체 및 상기 커버 및 수용측부는 상기 웨이퍼위에 제공되고 웨이퍼 수용측부에 대해 상승된 수용구조체를 고정하기
웨이퍼(1)를 고정하기 위한 평평한 수용측부(11)를 가진 캐리어(6), 수용측부(11)에 대해 수용측부(11)에서 상승되고 격자형상을 가진 그리드 구조체(8), 상기 캐리어(6)위에 상기 웨이퍼(1)를 고정하기 위하여 상기 캐리어(6)에 대해 상기 그리드 구조체(8)를 덮고 밀봉하는 가요성의 커버(7) 및 상기 커버(7) 및 캐리어(6)에 의해 경계가 형성되며 음압에 노출될 수 있는 그리드 공간(13)을 가지며 상기 웨이퍼(1)를 처리하는 동안 웨이퍼(1)를 핸들링하기 위한 핸들링 장치(5)에 있어서, 상기 그리드 구조체(8) 및
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