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[한국특허] 이물 검출 장치 및 이물 검출 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G01N-021/94
  • G01B-011/30
  • G01N-021/27
  • G01N-021/35
출원번호 10-2013-7021025 (2013-08-08)
공개번호 10-2013-0114242 (2013-10-16)
등록번호 10-1545419-0000 (2015-08-11)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2011-026884 (2011-02-10)
국제출원번호 PCT/JP2012/052206 (2012-02-01)
국제공개번호 WO 2012/108306 (2012-08-16)
번역문제출일자 2013-08-08
DOI http://doi.org/10.8080/1020137021025
발명자 / 주소
  • 아이꼬, 겐지 / 일본 ***-**** 이바라끼껭 히따찌나까시 오아자 이찌게 *** 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 나까사업소 내
  • 다나까, 시게야 / 일본 ***-**** 이바라끼껭 히따찌나까시 오아자 이찌게 *** 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 나까사업소 내
  • 아오끼, 야스꼬 / 일본 ***-**** 이바라끼껭 히따찌나까시 오아자 이찌게 *** 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 나까사업소 내
  • 가와구찌, 히로시 / 일본 ***-**** 이바라끼껭 히따찌나까시 오아자 이찌게 *** 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 나까사업소 내
  • 시무라, 게이 / 일본 ***-**** 이바라끼껭 히따찌나까시 오아자 이찌게 *** 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 나까사업소 내
출원인 / 주소
  • 가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈 / 일본국 도쿄도 미나토구 니시신바시 *쵸메 **-**
대리인 / 주소
  • 장수길; 박충범; 이중희
심사청구여부 있음 (2013-08-08)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록 ▼

본 발명은 전극 합제의 막 등, 대상물의 표면 또는 상기 대상물 중에 포함되는 이물을 검출하고 당해 검사 대상물의 신뢰성을 향상시키는 이물 검출 장치 및 이물 검출 방법을 제공하기 위한 것으로, 대상물에 테라헤르츠 조명광(100)(파장 4㎛ 내지 10㎜)을 조사하고, 대상물의 예인 전극(10)으로부터의 산란광(660)을 산란광 검출기(200)로 신호로서 검출함으로써, 전극(10)의 표면 또는 전극(10) 중에 포함되는 이물, 예를 들어 금속 이물(720)을 검출한다.여기서, 전극(10)은 집전체(710)의 양면에 활물질(701)과

대표청구항 ▼

다입자의 구조체를 포함하는 대상물의 내부에 매립된 이물을 검출하는 이물 검출 장치로서,상기 대상물에 조사하는 조명광을 발생하는 조명광 발생부와,상기 대상물로부터의 산란광을 수광 소자를 사용하여 신호로서 검출하는 산란광 검출기를 포함하는 산란광 검출 광학계를 갖고,상기 조명광의 파장은, 4㎛ 내지 10㎜이고,상기 산란광 검출 광학계는, 상기 대상물의 상기 조명광을 조사하는 면측으로서 상기 대상물의 내부에 있는 계면으로부터의 정반사광이 들어오지 않고 또한 상기 이물로부터의 산란광에 대하여 상기 다입자의 산란광이 가장 적어지는 각도에 배

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [일본] SCATTERED OBJECT DETECTION DEVICE USING TERAHERTZ WAVE AND METHOD | KAWASE AKIMICHI, SHIBUYA TAKAYUKI, OGAWA YUICHI, YAMASHITA MASAHIRO
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  2. [일본] GAS DETECTOR | KOBAYASHI TAKAO, IMASHIRO KATSUJI
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  3. [일본] METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING PAPER SHEET USING TERAHERTZ LIGHT | INOUE TAKU, NAKAJIMA TORU, HAGIYUKI MASANORI, TANI MASAHIKO, KITAHARA HIDEAKI, SHIBUYA KYOJI
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  4. [미국] SYSTEMS AND METHODS FOR DETERMINING ONE OR MORE CHARACTERISTICS OF A SPECIMEN USING RADIATION IN THE TERAHERTZ RANGE | Levy, Ady, Ngai, Samuel, Bevis, Christopher F., Concina, Stefano, Fielden, John, Mieher, Walter, Mueller, Dieter, Richardson, Neil, Wack, Dan, Wagner, Larry
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