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연합인증

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고성능 유도 플라즈마 토치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H05H-001/30
  • H05H-001/28
출원번호 10-2013-7023122 (2013-08-30)
공개번호 10-2014-0007888 (2014-01-20)
등록번호 10-2023386-0000 (2019-09-16)
우선권정보 미국(US) 61/439,161 (2011-02-03)
국제출원번호 PCT/CA2012/000094 (2012-02-02)
국제공개번호 WO 2012/103639 (2012-08-09)
번역문제출일자 2013-08-30
DOI http://doi.org/10.8080/1020137023122
발명자 / 주소
출원인 / 주소
  • 테크나 플라즈마 시스템 인코포레이티드 / 캐나다 제이*엘 *티*, ?벡 쉘브루크, **** 인더스트리얼 보울바르드
대리인 / 주소
  • 특허법인신성
심사청구여부 있음 (2017-01-31)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

유도 플라즈마 토치는 튜브형 토치 본체, 상기 튜브형 토치 본체 내에 배치되고 그와 동축을 이루는 플라즈마 구속 튜브, 상기 플라즈마 구속 튜브의 일 단부에 배치되고 적어도 하나의 가스상 물질을 상기 플라즈마 구속 튜브 내로 공급하도록 구성된 가스 분배기 헤드, 에너지를 상기 가스상 물질에 인가하여 상기 플라즈마 구속 튜브 내에 플라즈마를 생성 및 지속시키기 위한 유도 결합 부재, 및 상기 플라즈마 구속 튜브의 외부 표면 또는 튜브형 토치 본체의 내부 표면에 적용된 전도성 재료의 필름을 포함한다.상기 전도성 재료의 필름은 일 단부에

대표청구항 ▼

유도 플라즈마 토치에 사용하기 위한 플라즈마 구속 튜브로서, 상기 플라즈마 구속 튜브는 열전도성 및 전기 저항성 재료로 제조되며, 기하학적 축 및 외부 표면을 형성하고,상기 플라즈마 구속 튜브의 외부 표면에 적용되고 일 단부에서 상호 접속된 축방향 스트립들로 세그먼트화된 전기 전도성 재료의 필름을 포함하는 용량성 차폐부; 및 상기 열전도성 및 전기 저항성 재료를 통한 상기 플라즈마 구속 튜브의 외부 표면의 축방향 홈들을 포함하고, 상기 축방향 홈들은 축방향 스트립들 사이에 개재되며,상기 축방향 홈들은 상기 플라즈마 구속 튜브의 두께

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. [미국] Elimination of strike-over in RF plasma guns | Frind Gerhard (Altamont NY)
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  2. [미국] Magnetically permeable electrostatic shield | Roes John B. (San Diego CA)
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  3. [미국] Thin film electrostatic shield for inductive plasma processing | Daviet Jean-Fran.cedilla.ois,FRX
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  4. [미국] Multi-coil induction plasma torch for solid state power supply | Boulos, Maher, Jurewicz, Jerzy
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  5. [미국] Inductively coupled plasma source using induced eddy currents | Jewett, Russell, Scholl, Richard
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이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 고온 공정 처리 장치 | 박우윤
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