[특허]쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법 및 실리콘 단결정 잉곳

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[한국특허] 쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법 및 실리콘 단결정 잉곳 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C30B-015/22 C30B-029/06
출원번호	10-2014-0011084 (2014-01-29)
공개번호	10-2015-0090434 (2015-08-06)
등록번호	10-1625431-0000 (2016-05-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020140011084
발명자 / 주소	김남석 / 경상북도 구미시 공단로 *- 김상희 / 경상북도 구미시 공단로 *- 정용호 / 경상북도 구미시 공단로 *-
출원인 / 주소	주식회사 엘지실트론 / 경상북도 구미시 임수로 ** (임수동)
대리인 / 주소	박영복
심사청구여부	있음 (2014-01-29)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

실시예는 쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법에 있어서, 도가니 내의 실리콘 용융액에 시드를 담그고, 상기 시드를 회전시키면서 실리콘 단결정 잉곳의 넥과 숄더를 성장시키는 단계; 및 바디를 성장시키는 단계를 포함하고, 상기 바디의 성장 단계에서 상기 도가니에 2500 가우스 내지 3500 가우스의 자기장을 인가하는 쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법을 제공한다.

대표청구항

쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법에 있어서,도가니 내의 실리콘 용융액에 시드를 담그고, 상기 시드를 회전시키면서 실리콘 단결정 잉곳의 넥과 숄더를 성장시키는 단계; 및바디를 성장시키는 단계를 포함하고,상기 바디의 성장 단계에서 상기 실리콘 용융액의 표면과 열 차폐재와의 사이에 불활성 기체를 4.0 m/s 내지 4.7m/s의 속도로 공급하는 쵸크랄스키법을 이용한 실리콘 단결정의 성장 방법.

이 특허에 인용된 특허 (4)

[한국] 고품질 실리콘 단결정의 제조방법 | 오쿠이마사히코, 무라카미히로키, 에가시라가즈유키, 이토마코토, 하야카와히로시, 가렛켈리, 시라카와요시노리
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[한국] 단결정 실리콘 잉곳인상방법, 단결정 실리콘 잉곳, 및 에피텍셜 실리콘 웨이퍼 | 조화진, 정용호, 김남석
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[일본] METHOD FOR PRODUCING SILICON SINGLE CRYSTAL INGOT | OTAKE YASUTOSHI
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[한국] 잉곳 성장 방법 및 잉곳 | 조화진, 김상희, 정용호, 김남석
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관련 콘텐츠

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IPC 상위 출원인

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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