초록 ▼

본 발명은 비결정질 불소수지 중공사막(Teflon AF hollow fiber membranes)을 이용한 탈기장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체, FPD, 필름, 약품제조 공정에서 주로 사용되는 고점도의 용제 및 액체 내에 존제하는 용존기체를 효율적으로 제거하기 위해 사용되는 탈기시스템의 탈기장치에 사용되는 기체 투과성과 액체는 불투과성을 가지고 있는 비결정질 불소수지 중공사막(Teflon AF hollow fiber membranes) 다발을 표면처리와 접착처리를 통해 하니컴 형태로 밀착시키도록 하는 비

본 발명은 비결정질 불소수지 중공사막(Teflon AF hollow fiber membranes)을 이용한 탈기장치 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체, FPD, 필름, 약품제조 공정에서 주로 사용되는 고점도의 용제 및 액체 내에 존제하는 용존기체를 효율적으로 제거하기 위해 사용되는 탈기시스템의 탈기장치에 사용되는 기체 투과성과 액체는 불투과성을 가지고 있는 비결정질 불소수지 중공사막(Teflon AF hollow fiber membranes) 다발을 표면처리와 접착처리를 통해 하니컴 형태로 밀착시키도록 하는 비결정질 불소수지 중공사막 탈기장치의 제조방법 및 그 운용방법에 관한 것이다.본 발명은 진공챔버의 역활을 하는 공간이 종래 제품과는 상이한 ,비결정질 불소수지 중공사막 내부에 형성되는것을 특징으로 하며, 중공사막 외부로 액체가 흐르는 구조(외부관류 방식)를 가지고 있으며, 별도의 탈포용 배출구를 가지고 있는것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

본체부(22)와, 상기 본체부의 내측에 설치되는 다수의 비결정질 불소수지 중공사 튜브(16)로 이루어지는 탈기부(15)와, 유입구(11)를 관통하고 그 내부에 진공챔버(2)를 구성하는 구조로 되어 있는 덮개부(21)를 포함하는 탈기장치(1)에 있어서, 상기 본체부(1)의 내측면으로는 탈포부(6)를 구비하고, 상기 본체부(1)의 외측면으로는 유출구(12)와 기포 유출구(14)를 포함하도록 구성되며, 상기 덮개부(21)의 내측면으로는 진공챔버(2)가 구비되고, 상기 덮개부(21)의 외측면으로는 유입구(11)와 진공 배기구(13)가 구성

본체부(22)와, 상기 본체부의 내측에 설치되는 다수의 비결정질 불소수지 중공사 튜브(16)로 이루어지는 탈기부(15)와, 유입구(11)를 관통하고 그 내부에 진공챔버(2)를 구성하는 구조로 되어 있는 덮개부(21)를 포함하는 탈기장치(1)에 있어서, 상기 본체부(1)의 내측면으로는 탈포부(6)를 구비하고, 상기 본체부(1)의 외측면으로는 유출구(12)와 기포 유출구(14)를 포함하도록 구성되며, 상기 덮개부(21)의 내측면으로는 진공챔버(2)가 구비되고, 상기 덮개부(21)의 외측면으로는 유입구(11)와 진공 배기구(13)가 구성되며, 상기 탈기부(15)는비결정질 불소수지 재질의 외부 결속관(72)과, 상기 외부 결속관(72) 내측에 삽입 결속되는 비결정질 불소수지 재질의 내부 결속관(71) 및 상기 내부 결속관(71)의 내측으로 삽입 결속되는 다수의 비결정질 불소수지 중공사 튜브(16)와 PFA(Tetrafluoroetylene-Perf luoroalkyl vinyl ether Copolymer)재질의 유입관(24)으로 구성되며, 상기 다수의 중공사 튜브(16) 및 유입관(24)과 내부 결속관(71)의 결속에는 표면 처리제(41) 및 접착제(42)와 코팅액(43)을 도포하는 것을 특징으로 하는 비결정질 불소수지 중공사튜브를 이용한 탈기장치.