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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2014-0012720 (2014-02-04) | |
| 공개번호 | 10-2015-0092437 (2015-08-13) | |
| 등록번호 | 10-2064405-0000 (2020-01-03) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020140012720 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2019-01-22) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
기판 박리 장치는 사각형 형상을 갖는 지지 부재, 상기 지지 부재의 하부에 배치된 복수의 흡착 패드들, 및 상기 지지 부재의 상부에 배치되어 상기 지지부재 및 상기 흡착 패드들을 상하로 이송하는 구동부를 포함하고, 상기 흡착 패드들은 상기 지지부재의 서로 마주보는 제1 꼭지점들을 잇는 제1 연장선에 대응하는 제1 방향에서, 서로 마주보고 상기 제1 꼭지점들과 다른 제2 꼭지점들을 잇는 제2 연장선에 인접할수록 큰 크기를 갖는다.
사각형 형상을 갖는 지지 부재;상기 지지 부재의 하부에 배치된 복수의 흡착 패드들; 및상기 지지 부재의 상부에 배치되어 상기 지지부재 및 상기 흡착 패드들을 상하로 이송하는 구동부를 포함하고,상기 흡착 패드들은 상기 지지부재의 서로 마주보는 제1 꼭지점들을 잇는 제1 연장선에 대응하는 제1 방향에서, 서로 마주보고 상기 제1 꼭지점들과 다른 제2 꼭지점들을 잇는 제2 연장선에 인접할수록 큰 크기를 갖는 기판 박리 장치.
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