초록

본 발명은 상판과, 하판과, 상기 상판과 하판 사이에 위치하며, 열선이 제 1 방향을 따라 지그재그로 절곡되면서 양측에 절곡부를 구비하며 수평 방향으로 배열되는 히터 모듈 및 상기 히터 모듈의 양측에서 상기 절곡부를 지지하는 지지 블록을 포함하는 기판 열처리용 평판 히터를 개시한다.본 발명의 기판 열처리용 평판 히터는 열선이 별도의 쿼쯔 튜브에 삽입되지 않고 직접 지지 블록이 안착되므로 쿼쯔 튜브의 파손에 따른 파티클 발생을 방지할 수 있다.

대표청구항 ▼

상판과,하판과,상기 상판과 하판 사이에 위치하며, 열선이 제 1 방향을 따라 지그재그로 절곡되면서 양측에 절곡부를 구비하며 수평 방향으로 배열되는 히터 모듈 및상기 히터 모듈의 양측에서 상기 절곡부를 지지하는 지지 블록을 포함하며,상기 히터 모듈은 열선이 곡선 형상으로 절곡되는 상기 절곡부 및 상기 절곡부 사이에서 열선이 직선 형상으로 배열되는 직선부를 구비하며,상기 지지 블록은 폭과 두께와 길이를 갖는 블록 형상으로 형성되고, 상면에서 하부 방향으로 소정 깊이로 형성되며, 내주면이 상기 절곡부의 외주면 형상에 대응되는 호 또는 반

상판과,하판과,상기 상판과 하판 사이에 위치하며, 열선이 제 1 방향을 따라 지그재그로 절곡되면서 양측에 절곡부를 구비하며 수평 방향으로 배열되는 히터 모듈 및상기 히터 모듈의 양측에서 상기 절곡부를 지지하는 지지 블록을 포함하며,상기 히터 모듈은 열선이 곡선 형상으로 절곡되는 상기 절곡부 및 상기 절곡부 사이에서 열선이 직선 형상으로 배열되는 직선부를 구비하며,상기 지지 블록은 폭과 두께와 길이를 갖는 블록 형상으로 형성되고, 상면에서 하부 방향으로 소정 깊이로 형성되며, 내주면이 상기 절곡부의 외주면 형상에 대응되는 호 또는 반원 형상으로 형성되는 지지 곡선부를 구비하는 지지 홈을 포함하며,상기 지지 홈은 상기 절곡부를 수용하여 지지하며,상기 지지 블록은 상기 지지 홈의 바닥면에서 상기 지지 블록의 하면으로 관통되며 상기 절곡부의 내주면에 대응되는 형상으로 형성되는 지지 관통 홀을 더 포함하며,상기 지지 관통 홀은 상기 지지 홈의 바닥면이 상기 열선의 평면 형상에 대응되는 형상을 갖도록 하여 상기 지지 홈의 바닥면에서 하부로 개방되는 영역을 제공하는 것을 특징으로 하는 기판 열처리용 평판 히터.