[특허]세정액 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 세정 방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C11D-007/02 C11D-007/50 H01L-021/306
출원번호	10-2014-0045382 (2014-04-16)
공개번호	10-2015-0119675 (2015-10-26)
등록번호	10-2153745-0000 (2020-09-02)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020140045382
발명자 / 주소	배상원 / 경기도 수원시 팔달구 장다리로*번길 , *동 호(인계동, 한신아파트) 고용선 / 경기도 수원시 권선구 동수원로번길 , *동 호(권선동, 수원아이파크시티아파트) 김석훈 / 경기도 성남시 수정구 수정로번길 , *호(신흥동, 삼남아파트) 김인기 / 경기도 화성시 동탄숲속로 , *동 호(능동, 숲속마을풍성신미주아파트) 오정민 / 인천광역시 남동구 담방서로번길 , 동 *호(만수동, 이삭차아파트) 이근택 / 경기도 수원시 팔달구 효원로*번길 , *동 호(인계동, 꿈에그린효원) 이효산 / 경기도 화성시 동탄반석로 , 동 호(반송동, 한화우림아파트) 정지훈 / 경기도 수원시 영통구 영통로 , 동 호(영통동, 두산아파트) 조용진 / 경기도 화성시 동탄공원로 -, 동 **호(능동, 푸른마을신일해피트리아파트)
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 삼성로 *** (매탄동)
대리인 / 주소	특허법인 고려
심사청구여부	있음 (2019-03-18)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

금속 불화물이 용해되지 않는 유기 용매, 바이 플루오라이드(HF2-)를 생성하는 불소 화합물, 및 1.5 중량% 이하의 초순수를 포함하는 세정액 조성물 및 상기 세정액 조성물을 이용한 반도체 소자의 세정 방법이 제공된다.

대표청구항

금속 불화물이 용해되지 않는 유기 용매;바이 플루오라이드(HF2-)를 생성하는 적어도 하나의 불소 화합물; 및초순수를 포함하되,상기 불소 화합물은 불화수소(HF) 및 불화암모늄(NH4F)을 포함하며,그 총 중량에 대해 상기 HF는 0.002~0.01 중량%로 포함하고, 상기 NH4F는 0.02~0.05 중량%로 포함하며, 상기 초순수는 1.5 중량% 이하로 포함하는 세정액 조성물.

IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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