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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0045764 (2014-04-17) | |
공개번호 | 10-2015-0120543 (2015-10-28) | |
등록번호 | 10-1663818-0000 (2016-09-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140045764 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-04-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 유기발광디스플레이용 새도우 마스크의 제조 방법, 그 새도우 마스크 및 이를 이용한 유기발광디스플레이의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 미세 패턴을 포함하는 포토마스크를 이용한 유기발광디스플레이용 새도우 마스크의 제조 방법, 그 새도우 마스크 및 이를 이용한 유기발광디스플레이의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명은 도금용 기판의 상면에 포토레지스트 막을 형성하는 단계; 상기 포토레지스트 막의 상부에 포토마스크를 위치시키는 단계; 소정의 시간 동안 노광을 진행하는 단계; 상기 포토레지스트 막을 현상하여 제어된 형
도금용 기판의 상면에 포토레지스트 막을 형성하는 단계;상기 포토레지스트 막의 상부에 포토마스크를 위치시키는 단계;정지된 상기 도금용 기판의 상부에서 수직하게 광을 인가하면서, 소정의 시간 동안 상기 포토마스크를 이용하여 상기 포토레지스트 막에 노광을 진행하는 단계;상기 포토레지스트 막을 현상하여 제어된 형상의 개구 측벽을 갖는 포토레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트 패턴이 형성된 상기 도금용 기판상에 도금 공정을 진행함으로써 제어된 형상의 개구 측벽을 가지는 새도우 마스크 패턴을 형성하는 단계를 포함하며,상기 포토마
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