초록

본 발명은 새도우 마스크 제조 방법 및 이를 이용한 OLED 소자 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 마스크 시트의 상측에서 기판과 접촉하는 부분이 하측에 식각된 부분을 기준으로 비교했을 때 외각에 형성되도록 새도우 마스크를 형성하고, 이러한 새도우 마스크를 이용하여 OLED 소자를 제조함으로써, 유기물이 증착되는 부분에 대한 새도우 마스크에 의한 기판의 긁힘 현상이 방지될 수 있는 새도우 마스크 제조 방법 및 이를 이용한 OLED 소자 제조 방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

(a) 마스크 시트의 상측 및 하측에 각각 포토레지스트 막이 형성되는 단계;(b) 상기 포토레지스트 막이 형성되지 않은 상기 마스크 시트의 상측 및 하측을 각각 식각하는 단계;(c) 식각된 마스크 시트의 상측부에 수지가 도포되고, 식각된 마스크 시트의 하측을 식각하는 단계; 및(d) 새도우 마스크가 형성되는 단계;를 포함하되,상기 새도우 마스크는,상기 새도우 마스크의 상단측에 위치하며, 기판과 접촉되는 경계에 존재하는 한쌍의 제1 엣지면;상기 한쌍의 제1 엣지면으로부터 각각 내측 방향으로 연장 형성된 한쌍의 제2 엣지면;을 포함하며

(a) 마스크 시트의 상측 및 하측에 각각 포토레지스트 막이 형성되는 단계;(b) 상기 포토레지스트 막이 형성되지 않은 상기 마스크 시트의 상측 및 하측을 각각 식각하는 단계;(c) 식각된 마스크 시트의 상측부에 수지가 도포되고, 식각된 마스크 시트의 하측을 식각하는 단계; 및(d) 새도우 마스크가 형성되는 단계;를 포함하되,상기 새도우 마스크는,상기 새도우 마스크의 상단측에 위치하며, 기판과 접촉되는 경계에 존재하는 한쌍의 제1 엣지면;상기 한쌍의 제1 엣지면으로부터 각각 내측 방향으로 연장 형성된 한쌍의 제2 엣지면;을 포함하며,제1 엣지면과 제2 엣지면 사이의 두께가 40㎛ 내지 60㎛ 인 것을 특징으로 하는,새도우 마스크 제조 방법.