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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0059961 (2014-05-19) | |
공개번호 | 10-2015-0133083 (2015-11-27) | |
등록번호 | 10-2136847-0000 (2020-07-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140059961 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 플래튼에서 연마패드의 교체가 용이한 화학적 기계적 연마 장치 및 연마패드의 교체 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 화학적 기계적 연마 장치는 연마패드, 상기 연마패드가 부착되는 상부 플래튼, 상기 상부 플래튼과 결합하며 회전축을 갖는 하부 플래튼을 포함하며, 상기 교체 방법은 상부 플래튼을 교체를 위한 자동화 장치를 이용하여 교체하는 것이다. 본 발명에 따르면, 연마패드가 부착된 상부 플래튼을 하부 플래튼과 탈부착시키며, 교체를 위한 자동화 장치에 의하여 연마패드의 교체를 수행함으로써 연마패드의 교체를 더욱 용이하게
연마패드가 부착된 상부 플래튼과 회전축을 포함하는 하부 플래튼이 분리 및 결합 가능하고,상기 상부 플래튼의 표면에 교체를 위한 자동화 장치와 일방향으로 결합 가능한 홈을 포함하고,상기 홈은 상기 상부 플래튼의 측표면으로부터 중심 방향으로 장축을 가지는 기둥 형상인 화학적 기계적 연마 장치.
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