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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0078232 (2014-06-25) | |
공개번호 | 10-2016-0000709 (2016-01-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140078232 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2014-06-25) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 대기압 하에서 유전체 전극을 사용하여 넓은 범위에 걸쳐 플라즈마를 방전시킬 수 있는 광폭 대기압 플라즈마 방전장치에 관한 것이다.본 발명은 원통형상의 장착공간과, 상기 장착공간으로 대기압의 공정가스가 투입되는 가스 흡입구와, 상기 장착공간에서 플라즈마가 토출되는 플라즈마 토출구가 구비되고, 접지된 금속 재질의 헤드; 및 상기 장착공간에 내장되고, 고압 전류가 공급됨에 따라 상기 헤드와 사이에 플라즈마를 발생시키는 유전체 전극;을 포함하고, 상기 플라즈마 토출구는 상기 장착공간의 축방향으로 길게 형성된 슬릿 형상이고, 상기
원통형상의 장착공간과, 상기 장착공간으로 대기압의 공정가스가 투입되는 가스 흡입구와, 상기 장착공간에서 플라즈마가 토출되는 플라즈마 토출구가 구비되고, 접지된 금속 재질의 헤드; 및상기 장착공간에 내장되고, 고압 전류가 공급됨에 따라 상기 헤드와 사이에 플라즈마를 발생시키는 유전체 전극;을 포함하고,상기 플라즈마 토출구는 상기 장착공간의 축방향으로 길게 형성된 슬릿 형상이고,상기 유전체 전극은 상기 장착공간 내측에 축방향으로 길게 위치한 원통형상인 것을 특징으로 하는 광폭 대기압 플라즈마 방전장치.
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