초록

이온 소스는 자기장부, 전극, 가스 주입부를 갖는다. 자기장부는 피처리물을 향하는 일측은 개방되고 타측은 폐쇄되며, 개방 일측에는 다수의 자극이 교대로 이격 배치되고, 폐쇄 타측에는 자심으로 연결되어, 개방 일측에서 플라즈마 전자의 가속 폐 루프를 형성한다. 전극은 자기장부의 가속 폐 루프의 하부에 자기장부와 이격 배치된다. 가스 주입부는 자극을 관통하여 가속 폐 루프의 방향으로 가스를 공급한다.

대표청구항 ▼

이온 소스에 있어서,피처리물을 향하는 일측은 개방되고 타측은 폐쇄되며, 상기 개방 일측에는 중앙의 중앙 자극과 상기 중앙 자극을 둘러싸는 외측 자극이 이격 배치되고, 상기 폐쇄 타측에는 상기 중앙 자극과 상기 외측 자극을 자기 결합하는 자심이 배치되어, 상기 개방 일측에서 플라즈마 전자의 가속 폐 루프를 형성하는 자기장부;상기 자기장부 내에 구비되고, 상기 가속 폐 루프의 하부에 상기 자기장부와 이격 배치되는 전극; 및상기 자기장부 내에 형성되고, 상기 외측 자극을 관통하여 상기 가속 폐 루프의 방향으로 가스를 공급하는 가스 주입부

이온 소스에 있어서,피처리물을 향하는 일측은 개방되고 타측은 폐쇄되며, 상기 개방 일측에는 중앙의 중앙 자극과 상기 중앙 자극을 둘러싸는 외측 자극이 이격 배치되고, 상기 폐쇄 타측에는 상기 중앙 자극과 상기 외측 자극을 자기 결합하는 자심이 배치되어, 상기 개방 일측에서 플라즈마 전자의 가속 폐 루프를 형성하는 자기장부;상기 자기장부 내에 구비되고, 상기 가속 폐 루프의 하부에 상기 자기장부와 이격 배치되는 전극; 및상기 자기장부 내에 형성되고, 상기 외측 자극을 관통하여 상기 가속 폐 루프의 방향으로 가스를 공급하는 가스 주입부를 포함하며, 상기 가스 주입부는상기 이온 소스의 외부로부터 가스가 유입하는 가스 튜브;일측은 상기 가스 튜브에 연통되고, 상기 외측 자극의 길이 방향을 따라 폐 루프로 형성되는 가스 채널;상기 외측 자극 내에 형성되고, 일측은 상기 가스 채널에 연통되고 타측은 상기 가속 폐 루프의 방향으로 연통되는 가스 확산 슬릿을 포함하는, 이온 소스.