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[한국특허] 유량 제어 장치
Liquid flow controller 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
출원번호 10-2014-0090966 (2014-07-18)
공개번호 10-2016-0010099 (2016-01-27)
DOI http://doi.org/10.8080/1020140090966
발명자 / 주소
  • 이재희 / 경기도 광명시 광명로***번길 **-* (광명동)
  • 김진선 / 경기도 수원시 영통구 영통로**번길 *-**, ***동 ***호 (망포동, 늘푸른벽산아파트)
  • 방민철 / 경기도 화성시 메타폴리스로 **, ****호(반송동, 동탄파라곤II)
출원인 / 주소
  • 플로우닉스 주식회사 / 서울특별시 금천구 범안로**길 **, *층 (독산동)
대리인 / 주소
  • 특허법인세신
심사청구여부 있음 (2014-07-18)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록 ▼

본 발명은 유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 유량 제어 장치로서, 상기 유량 제어 밸브를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량 센서와 상기 유체의 온도를 측정하는 온도 센서를 구비한 센서부; 및 상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값을 피드백 제어하여, 기 설정된 값으로 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하고, 상기 센서부를 통해 측정된 측정값을 기초로 상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값과 기 설정된 유량값의 오차를 보상하는 유량 보정 수단을 구비하고, 상기 유량 보정 수단의 보정값을 상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값에 반영하여

대표청구항 ▼

유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 유량 제어 장치로서,상기 유량 제어 밸브를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량 센서와 상기 유체의 온도를 측정하는 온도 센서를 구비한 센서부; 및상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값을 피드백 제어하여, 기 설정된 값으로 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하고, 상기 센서부를 통해 측정된 측정값을 기초로 상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값과 기 설정된 유량값의 오차를 보상하는 유량 보정 수단을 구비하고, 상기 유량 보정 수단의 보정값을 상기 유량 센서를 통해 측정된 유량값에 반영하여 상기 유량 제어

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