$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[미국특허] Liquid flow controller 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05D-007/06
출원번호 US-0906922 (1992-06-30)
발명자 / 주소
  • Vavra Randall J. (Orange CA) Doyle Michael J. (Villa Park CA) Vu Kim N. (Yorba Linda CA)
출원인 / 주소
  • Unit Instruments, Inc. (Yorba Linda CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 28  인용 특허 : 0

초록

A liquid flow controller for metering a flow of liquid has an inlet to receive the liquid. The inlet feeds the liquid to a high resistance liquid flow path across which a pressure drop arises. A pressure sensor measures the liquid flow induced pressure drop and generates pressure drop signal which i

대표청구항

A liquid flow controller for metering a flow of liquid comprising: a liquid inlet for receiving the flow of liquid; means coupled to said liquid inlet to receive the flow of liquid for providing a high resistance liquid flow path and for producing a laminar flow of liquid; means for measuring a pres

이 특허를 인용한 특허 (28) 인용/피인용 타임라인 분석

  1. Vu Kim N., Apparatus for handling process fluid.
  2. Mohammed, Balarabe Nuhu; Barros, Philip; Martin, Raul A.; Crockett, Mark A.; Sklar, Eric S., Combination manual/pneumatic shut-off valve.
  3. Belz,Jeffrey; Schmitt,Randall Paul; Iott,Jeff; Chiang,Cliff; Barnett,Thomas Alan, Electronic proportioning valve.
  4. Vu, Kim Ngoc, Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates.
  5. Goto, Takao; Aono, Toshihiro; Kawai, Tetsuroh, Flow control device.
  6. Igarashi, Hiroki, Flow rate adjustment apparatus.
  7. Takijiri, Kotaro; Tanaka, Yuki; Ieki, Atsushi, Flow rate control apparatus, storage medium storing program for flow rate control apparatus and flow rate control method.
  8. Yasuda, Tadahiro, Fluid controller.
  9. Vu, Kim Ngoc, Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks.
  10. Schmitt,Randall Paul, Fluid mixer.
  11. Schmitt,Randall Paul, Fluid mixer.
  12. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer, Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system.
  13. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer, Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system.
  14. Laverdiere, Marc; McLoughlin, Robert F.; Gonnella, George; Gashgaee, Iraj; Marrs, Jennifer, Liquid flow controller and precision dispense apparatus and system.
  15. DiPrizio, Anthony C.; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  16. DiPrizio, Anthony; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  17. DiPrizio, Anthony; Abbott, Nathan; Vroman, Christopher; Patel, Rajnikant B.; McNamara, Eric, Low-profile surface mount filter.
  18. Schmitt, Randall Paul; Belz, Jeffrey, Manual override for electronic proportioning valve.
  19. Gold, Ezra Robert; Fovell, Richard Charles; Cruse, James Patrick; Lee, Jared Ahmad; Geoffrion, Bruno; Buchberger, Douglas Arthur; Salinas, Martin J., Method and apparatus for controlling gas flow to a processing chamber.
  20. Gold, Ezra Robert; Fovell, Richard Charles; Cruse, James Patrick; Lee, Jared Ahmad; Geoffrion, Bruno; Buchberger, Douglas Arthur; Salinas, Martin J., Method and apparatus for controlling gas flow to a processing chamber.
  21. Gold, Ezra Robert; Fovell, Richard Charles; Cruse, James Patrick; Lee, Jared Ahmad; Geoffrion, Bruno; Buchberger, Douglas Arthur; Salinas, Martin J., Method and apparatus for controlling gas flow to a processing chamber.
  22. Melcer,Chris; Lane,John, Method and apparatus for pressure and mix ratio control.
  23. Lane,John; Straube,Ralph H. M.; Melcer,Chris, Method and apparatus for pressure control and flow measurement.
  24. Crockett, Mark; Lane, John W.; Kirchhoff, Vincent; Josephson, Marcel E.; Gao, Hong P.; Manjunath, Bhaswan, Method of diffusion bonding a fluid flow apparatus.
  25. Balarabe, Mohammed Nuhu; Barros, Philip; Martin, Raul A.; Crockett, Mark A.; Sklar, Eric S., Pressure-insensitive mass flow controller.
  26. Tsourides, Christ A., System and method for integrating gas components.
  27. Tsourides, Christ A., System and method for integrating gas components.
  28. Vars Curtis C. ; Yost Jason E. ; McLane Joel L. ; Samuelson Donald R. ; Branch Gary F., Valve for controlling gas mass flow.

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 특허

해당 특허가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로