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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0160630 (2014-11-18) | |
공개번호 | 10-2016-0059145 (2016-05-26) | |
등록번호 | 10-2353490-0000 (2022-01-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140160630 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-09-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 직접분무식 수가습 시스템에 관한 것으로, 본 발명은 분무수와 압축공기를 분사시켜 클린룸 내부를 수가습하는 노즐이 매니폴드 상에 다수 배치되고, 솔레노이드 밸브를 통해 상기 노즐을 개폐하게 하도록 구성된 시스템에 있어서, 상기 크린룸의 습도 상태를 검출하여 신호를 출력하는 출력부; 상기 출력부로부터 전달받은 신호에 의해 PID 연산을 수행하여 상기 노즐을 제어하는 PID 제어부; 및 상기 출력부로부터 전달받은 습도값이 기준값을 연달아 초과 또는 미달하는 이벤트를 감지하면 상기 노즐을 제어하는 이벤트 기반 제어부를 포함한다.
분무수와 압축공기를 분사시켜 클린룸 내부를 수가습하는 노즐이 매니폴드 상에 다수 배치되고, 솔레노이드 밸브를 통해 상기 노즐을 개폐하게 하도록 구성된 시스템에 있어서,상기 클린룸의 습도 상태를 검출하여 신호를 출력하는 출력부;상기 출력부로부터 전달받은 신호에 의해 PID 연산을 수행하여 상기 노즐을 제어하는 PID 제어부; 및상기 출력부로부터 전달받은 습도값이 기준값을 연달아 초과 또는 미달하는 이벤트를 감지하면 상기 노즐을 제어하는 이벤트 기반 제어부를 포함하며,상기 이벤트 기반 제어부는 측정한 측정값이 상기 기준값의 범위를 넘어
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