초록 ▼

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 건축패드 위에 외조기를 설치할 수 있는 외조기 모듈의 설치방법이 개시된다. 본 발명의 외조기 모듈의 설치방법은, (a) 상기 외조기를 분할 조립하여 모듈화하는 단계; (b) 상기 외주기 모듈을 운반용 대차 위에 안착시켜 일체화하고, 상기 공정실로 양증하여 반입하는 단계; (c) 상기 공정실에 반입된 외조기 모듈을 반입대가 미리 설치되는 건축패드로 운반하여 정렬하는 단계; (d) 상기 운반용 대차에 설치되는 양중패드를 상승시켜 외조기 모듈을 양중하고, 상기 반입대 위에 중량물 대차

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 건축패드 위에 외조기를 설치할 수 있는 외조기 모듈의 설치방법이 개시된다. 본 발명의 외조기 모듈의 설치방법은, (a) 상기 외조기를 분할 조립하여 모듈화하는 단계; (b) 상기 외주기 모듈을 운반용 대차 위에 안착시켜 일체화하고, 상기 공정실로 양증하여 반입하는 단계; (c) 상기 공정실에 반입된 외조기 모듈을 반입대가 미리 설치되는 건축패드로 운반하여 정렬하는 단계; (d) 상기 운반용 대차에 설치되는 양중패드를 상승시켜 외조기 모듈을 양중하고, 상기 반입대 위에 중량물 대차를 설치하는 단계; (e) 상기 운반용 대차의 양중패드를 하강시켜 외조기 모듈을 중량물 대차 위에 안착하는 단계; (f) 상기 외조기 모듈을 중량물 대차에 의해 건축패드 위로 운반하여 지정된 위치에 안착하는 단계; (g) 상기 (a) 내지 (f)의 과정을 반복하여 분할된 나머지 외조기 모듈을 모두 건축패드 위에 순차적으로 안착하는 단계; 및 (h) 상기 (g)의 분할된 다수의 외조기 모듈을 결합하고, 외조기 모듈의 결합부분을 밀실하게 마감하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.본 발명에 의하면, 반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실에서 외부 공기를 정화하고 제어하여 공급해주는 외조기 모듈을 공장에서 모듈화하고 운반용 대차, 반입대 및 중량물 대차를 이용하여 건축패드 위의 지정된 위치에 안착함으로써, 기존의 복잡한 설치 과정을 단순화하고 편리성 및 안전성을 향상시켜 신속하게 설치할 수 있다.

대표청구항 ▼

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 건축패드 위에 외조기를 설치하는 방법으로서,(a) 상기 외조기를 분할 조립하여 모듈화하는 단계;(b) 상기 외조기 모듈을 운반용 대차 위에 안착시켜 일체화하고, 상기 공정실로 양증하여 반입하는 단계;(c) 상기 공정실에 반입된 외조기 모듈을 반입대가 미리 설치되는 건축패드로 운반하여 정렬하는 단계;(d) 상기 운반용 대차에 설치되는 양중패드를 상승시켜 외조기 모듈을 양중하고, 상기 반입대 위에 중량물 대차를 설치하는 단계;(e) 상기 운반용 대차의 양중패드를 하강시켜 외조기 모듈

반도체 또는 평판 디스플레이 소자를 생산하는 공정실의 건축패드 위에 외조기를 설치하는 방법으로서,(a) 상기 외조기를 분할 조립하여 모듈화하는 단계;(b) 상기 외조기 모듈을 운반용 대차 위에 안착시켜 일체화하고, 상기 공정실로 양증하여 반입하는 단계;(c) 상기 공정실에 반입된 외조기 모듈을 반입대가 미리 설치되는 건축패드로 운반하여 정렬하는 단계;(d) 상기 운반용 대차에 설치되는 양중패드를 상승시켜 외조기 모듈을 양중하고, 상기 반입대 위에 중량물 대차를 설치하는 단계;(e) 상기 운반용 대차의 양중패드를 하강시켜 외조기 모듈을 중량물 대차 위에 안착하는 단계;(f) 상기 외조기 모듈을 중량물 대차에 의해 건축패드 위로 운반하여 지정된 위치에 안착하는 단계;(g) 상기 (a) 내지 (f)의 과정을 반복하여 분할된 나머지 외조기 모듈을 모두 건축패드 위에 순차적으로 안착하는 단계; 및(h) 상기 (g)의 분할된 다수의 외조기 모듈을 결합하고, 외조기 모듈의 결합부분을 밀실하게 마감하는 단계;를 포함하며,상기 운반용 대차는,상기 양중패드의 승강 동작시 외조기 모듈이 기울어지거나 흔들리지 않도록 양중패드를 지지하기 위한 지지가이드가 적어도 2곳 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 외조기 모듈의 설치방법.