초록 ▼

본 발명은 그라비아 인쇄장비(R2R,R2P gravure printing)를 이용하여 저가 및 대량생산이 가능한 100% 인쇄 박막트랜지스터 백플랜 제조 및 센서 배열에 관한 것이다.본 발명은 그라비아 프린팅 장비를 이용하여 제조하는데, 롤투롤 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 소스 및 드레인 전극, 절연층, 활성층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조하고, 롤투피 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 활성층 코팅 후 소스 및 드레인 전극, 절연층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조한다.본 발명에 의하

본 발명은 그라비아 인쇄장비(R2R,R2P gravure printing)를 이용하여 저가 및 대량생산이 가능한 100% 인쇄 박막트랜지스터 백플랜 제조 및 센서 배열에 관한 것이다.본 발명은 그라비아 프린팅 장비를 이용하여 제조하는데, 롤투롤 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 소스 및 드레인 전극, 절연층, 활성층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조하고, 롤투피 방식을 이용할 경우 유연한 기판 위에 활성층 코팅 후 소스 및 드레인 전극, 절연층, 게이트 전극을 각각 중첩 인쇄하여 백플랜을 제조한다.본 발명에 의하면 기존의 리소그라피나 에칭 및 고온공정에 비해 많은 장점을 가진 그라비아 인쇄공정을 적용함으로써 저온 및 상압 공정이 가능하며, 대면적 인쇄 및 제조방법이 간단하고, 높은 생산성과 저비용 생산이 가능하다.

대표청구항 ▼

그라비아 잉크 인쇄방식으로,(a) 기판 위에 게이트 전극을 형성하는 단계;(b) 상기 게이트 전극 위에 절연층을 형성하는 단계;(c) 상기 절연층 위에 활성층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 활성층 위에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 그라비아 잉크 인쇄방식은 패턴이 새겨진 롤 제판과 압력을 가하는 롤을 이용하는 그라비아 롤투롤 잉크 인쇄방식이거나, 패턴이 새겨진 평면(Plate) 제판과 압력을 가하는 롤을 이용하는 그라비아 롤투피 잉크 인쇄방식이며,상기 (b)단계에서 카메라가 상기 기판에 인쇄된 게이트 전극

그라비아 잉크 인쇄방식으로,(a) 기판 위에 게이트 전극을 형성하는 단계;(b) 상기 게이트 전극 위에 절연층을 형성하는 단계;(c) 상기 절연층 위에 활성층을 형성하는 단계; 및(d) 상기 활성층 위에 소스 및 드레인 전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 그라비아 잉크 인쇄방식은 패턴이 새겨진 롤 제판과 압력을 가하는 롤을 이용하는 그라비아 롤투롤 잉크 인쇄방식이거나, 패턴이 새겨진 평면(Plate) 제판과 압력을 가하는 롤을 이용하는 그라비아 롤투피 잉크 인쇄방식이며,상기 (b)단계에서 카메라가 상기 기판에 인쇄된 게이트 전극 마크를 인식해서 그 위에 절연층이 중첩되도록 제어하는 인쇄기반 박막트랜지스터 제조방법.