초록 ▼

본 발명은 시편 표면의 마찰계수 측정방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 시편 표면의 마찰계수 측정방법은 원자간력 현미경(AFM:Atomoice Force Microscope)을 이용하여 시편의 표면 정보를 획득하는 표면 정보 획득단계; 상기 시편의 표면 정보를 이용하여 상기 시편 표면의 마찰계수 데이터를 산출하는 산출단계; 상기 시편의 마찰계수 데이터를 이미지로 매핑하는 매핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 의하여, 실제 측정 대상이 되는 시편을 이용하여 원자간력 현미경을 보정 함과 동시에, 마찰계수를 측정함으로써, 원

본 발명은 시편 표면의 마찰계수 측정방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 시편 표면의 마찰계수 측정방법은 원자간력 현미경(AFM:Atomoice Force Microscope)을 이용하여 시편의 표면 정보를 획득하는 표면 정보 획득단계; 상기 시편의 표면 정보를 이용하여 상기 시편 표면의 마찰계수 데이터를 산출하는 산출단계; 상기 시편의 마찰계수 데이터를 이미지로 매핑하는 매핑단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.이에 의하여, 실제 측정 대상이 되는 시편을 이용하여 원자간력 현미경을 보정 함과 동시에, 마찰계수를 측정함으로써, 원자간력 현미경의 탐침부분이 마모되는 것을 방지하고 신뢰도가 높은 마찰계수 값을 확보할 할 수 있는 시편 표면의 마찰계수 측정방법이 제공된다.

대표청구항 ▼

원자간력 현미경(AFM:Atomoice Force Microscope)을 이용하여 시편의 표면 정보를 획득하는 표면 정보 획득단계;상기 시편의 표면 정보를 이용하여 상기 시편 표면의 마찰계수 데이터를 산출하는 산출단계;상기 시편의 마찰계수 데이터를 이미지로 매핑하는 매핑단계; 및 상기 원자간력 현미경을 이용하여 획득된 시편의 표면 정보를 보정하는 보정단계;를 포함하고, 상기 보정단계는, 상기 시편의 경사면에서의 경사각 및 점착력, 상기 시편의 평평한 면에서의 점착력을 측정하는 측정단계; 및 측정된 상기 경사면에서의 경사각 및 점착력

원자간력 현미경(AFM:Atomoice Force Microscope)을 이용하여 시편의 표면 정보를 획득하는 표면 정보 획득단계;상기 시편의 표면 정보를 이용하여 상기 시편 표면의 마찰계수 데이터를 산출하는 산출단계;상기 시편의 마찰계수 데이터를 이미지로 매핑하는 매핑단계; 및 상기 원자간력 현미경을 이용하여 획득된 시편의 표면 정보를 보정하는 보정단계;를 포함하고, 상기 보정단계는, 상기 시편의 경사면에서의 경사각 및 점착력, 상기 시편의 평평한 면에서의 점착력을 측정하는 측정단계; 및 측정된 상기 경사면에서의 경사각 및 점착력과 상기 평평한 면에서의 점착력 정보를 이용하여 시편의 표면 정보를 보정하는 보정정보 획득단계;를 포함하며, 상기 보정정보 획득단계에서 상기 보정정보는 상기 시편의 표면 정보에 보정상수(α)를 곱하여 획득되며,상기 보정상수는 아래 [수식 2]에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 시편 표면의 마찰계수 측정방법.[수식 2](단, α는 보정상수, μS는 경사면의 마찰계수, L 은 원자간력 현미경으로부터 시편에 가해지는 힘, θ 는 경사면의 경사각, AS 는 경사면에서의 점착력, WS는 경사면에서 원자간력 현미경에 의하여 측정되는 전압 값 / 2)