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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2014-0178725 (2014-12-11) | |
공개번호 | 10-2016-0071582 (2016-06-22) | |
등록번호 | 10-1713598-0000 (2017-03-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020140178725 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-02-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 불화규소화합물 및 중불화암모늄(NH4F.HF)에서 선택된 하나 이상을 포함하는 수용액이며, pH가 3.5 내지 6.5인 실리콘계 스케일 제거용 산성 세정액 조성물 및 pH가 6.5 내지 8.5인 실리콘계 스케일 제거용 중성 세정액 조성물을 제공하며, 이러한 세정액으로 실리콘계 스케일과 함께 경도 성분 스케일 및 금속 성분 스케일 등을 동시에 제거하여, 별도의 알칼리 세정 공정을 거치지 않아 공정이 간단하고, 세정효과도 우수한 효과가 있다.
불화규소나트륨(Na2SiF6) 및 불화규소칼륨(K2SiF6) 중 적어도 하나로 이루어진 불화규소화합물; 및 중불화암모늄(NH4F.HF)에서 선택된 2종 이상을 포함하는 수용액이며, pH가 3.5 내지 6.5인 실리콘계 스케일 제거용 산성 세정액 조성물.
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