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연합인증

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압전 장치 및 그 제조 및 사용 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-041/083
  • H01L-041/18
  • H03H-009/25
출원번호 10-2014-7011557 (2014-04-29)
공개번호 10-2014-0080519 (2014-06-30)
등록번호 10-1825111-0000 (2018-01-29)
우선권정보 인도(IN) 3693/CHE/2011 (2011-10-28)
국제출원번호 PCT/IB2011/003086 (2011-12-20)
국제공개번호 WO 2013/061108 (2013-05-02)
번역문제출일자 2014-04-29
DOI http://doi.org/10.8080/1020147011557
발명자 / 주소
  • 찬드란, 마니쉬 / 인도, 케랄라, 캘리컷, 에이치비에스 의학대학, **층/**, 아란가트
  • 라오, 엠. 에스. 라마찬드라 / 인도, 첸나이, 아이아이티 마드라스, 제* 루프 로드, 씨**
출원인 / 주소
  • 인디언 인스티튜트 오브 테크놀로지 마드라스 / 인도 타밀 나두 ****** 첸나이
대리인 / 주소
  • 특허법인엠에이피에스
심사청구여부 있음 (2014-04-29)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 소멸

초록

본 발명의 일 실시예에 따르면 압전 장치를 제조하는 방법이 제공된다.방법은, 기판을 제공하는 단계 및 그 기판의 제1 표면 상에 나노결정 다이아몬드 층을 형성하는 단계를 포함한다.방법은 또한 나노결정 다이아몬드의 제1 표면 상에 압전 장치를 증착하는 단계를 포함한다.

대표청구항 ▼

압전 장치를 제조하는 방법에 있어서,기판을 제공하는 단계;상기 기판의 제1 표면 상에 나노결정성 다이아몬드(NCD)층을 형성하는 단계; 및상기 나노결정성 다이아몬드 층의 제1 표면 상에 직접적으로 페로브스카이트 압전층을 증착(deposit)하는 단계를 포함하고,상기 페로브스카이트 압전층은 PZT(lead zirconate titanate) 및 PLZT(lead lanthanum zirconate titanate)로 구성되는 그룹으로부터 선택되고, 상기 증착된 페로브스카이트 압전층은 525도씨로부터 600도씨의 온도에서 30분 내지

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [일본] SURFACE ACOUSTIC WAVE ELEMENT | YAGOU AKIHIRO, IMAI TAKAHIRO, NAKAHATA HIDEAKI, FUJIMORI NAOHARU
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  2. [일본] MANUFACTURING PROCESS OF DEVICE CONTAINING LEAD ZIRCONATE TITANATE | DU HONGHUA, GRAEBNER JOHN EDWIN, JIN SUNGHO, JOHNSON DAVID WILFRED JR, ZHU WEI
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  3. [일본] HIGH FREQUENCY SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE | SHIH WEN-CHING, WANG MAO-JIN
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  4. [일본] DIAMOND SUBSTRATE FOR SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE AND SURFACE ACOUSTIC WAVE DEVICE | ISHIBASHI KEIJI, IMAI TAKAHIRO, KAMIMURA TOMOYOSHI, NAKAHATA HIDEAKI, FUJII SATORU
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이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 압전 나노 소재의 압전 특성 측정 장치, 시스템 및 방법 | 최시영, 김성대, 임영목, 김기엽
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