초록

본 발명은 스테이지의 평탄도 교정이 용이한 반도체 검사 장치에 관한 것으로, 교정부를 상하 이동시켜서 교정판과 베이스 간의 이격 거리를 용이하게 조절할 수 있으므로, 간단한 방법으로 스테이지의 평탄도를 용이하게 교정할 수 있게 되며, 따라서 스테이지에 구비된 반도체 칩의 높이를 정확하게 측정할 수 있게 되고, 검사의 신뢰도를 높일 수 있게 되는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

베이스;상기 베이스의 상부에 이격되며 그 상면에 반도체 칩이 실장된 기판이 안착되는 스테이지;일측은 상기 스테이지와 연결되고 타측은 상기 베이스 방향으로 연장되는 지지부재;상기 지지부재와 상기 베이스 사이에 구비되되, 일측은 상기 지지부재와 연결되고, 타측은 상기 베이스와 마주보도록 배치되는 교정판; 및상기 교정판과 상기 베이스 간의 이격 거리를 교정하는 교정부를 포함하고,상기 지지부재는:상기 교정판에 고정된 상태로 상기 스테이지 방향으로 돌출되는 한 쌍의 이동안내부;한 쌍의 상기 이동안내부를 따라 슬라이딩 가능하도록 결합되는 한

베이스;상기 베이스의 상부에 이격되며 그 상면에 반도체 칩이 실장된 기판이 안착되는 스테이지;일측은 상기 스테이지와 연결되고 타측은 상기 베이스 방향으로 연장되는 지지부재;상기 지지부재와 상기 베이스 사이에 구비되되, 일측은 상기 지지부재와 연결되고, 타측은 상기 베이스와 마주보도록 배치되는 교정판; 및상기 교정판과 상기 베이스 간의 이격 거리를 교정하는 교정부를 포함하고,상기 지지부재는:상기 교정판에 고정된 상태로 상기 스테이지 방향으로 돌출되는 한 쌍의 이동안내부;한 쌍의 상기 이동안내부를 따라 슬라이딩 가능하도록 결합되는 한 쌍의 슬라이딩부;일단부는 한 쌍의 상기 슬라이딩부에 고정되고 타단부는 상기 스테이지 방향으로 길게 연장되는 한 쌍의 지지기둥부와, 한 쌍의 상기 지지기둥부를 상호 연결시키는 연결부와, 상기 스테이지와 대향되는 상기 연결부의 상부에 고정되며 상기 스테이지가 결합되는 지지플레이트와, 상기 연결부의 중앙에 돌출 형성되는 상하안내부를 갖는 상하이동부;상기 상하안내부의 테두리와 맞닿는 외주연을 갖는 회전판과, 상기 회전판의 중심에서 원주 방향으로 편심된 위치에 구비되는 편심부를 갖는 캠부; 및상기 편심부와 연결되어 상기 편심부를 회전시키는 회전부를 포함하여 구성되고,상기 회전부가 상기 편심부를 회전시키면 상기 회전판이 회전되면서 상기 회전판의 외주연과 맞닿은 상기 상하안내부가 상하로 이동되고, 상기 상하안내부가 상하로 이동됨에 따라 상기 슬라이딩부가 상기 이동안내부를 따라 슬라이딩되면서 상하 이동되는 것을 특징으로 하는 스테이지의 평탄도 교정이 용이한 반도체 검사 장치.