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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0033283 (2015-03-10) |
공개번호 | 10-2016-0109234 (2016-09-21) |
등록번호 | 10-1956964-0000 (2019-03-05) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150033283 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-10-19) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 조성물 총 중량에 대하여, (a) 과황산염 0.5 내지 20 중량%, (b) 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, (c) 무기산 1 내지 10 중량%, (d) 유기산 또는 유기산염 0.1 내지 10 중량%, (e) 구리화합물 0.01 내지 3 중량%, (f) 염화술포닐계 화합물 0.5 내지 5 중량%, 및 (g) 잔량의 물을 포함하는 구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각방법에 관한 것이다.
조성물 총 중량에 대하여, (a) 과황산염 0.5 내지 20 중량%, (b) 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, (c) 무기산 1 내지 10 중량%, (d) 유기산 또는 유기산염 0.1 내지 10 중량%, (e) 구리화합물 0.01 내지 3 중량%, (f) 염화술포닐계 화합물 0.5 내지 5 중량%, 및 (g) 잔량의 물을 포함하며,상기 염화술포닐계 화합물은 에탄술포닐클로라이드(ethane Sulfonyl Chloride), 메탄술포닐클로라이드(mthane Sulfonyl Chloride), 클로로벤젠술포닐클로라이드(chlorob
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