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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0104434 (2015-07-23) |
공개번호 | 10-2017-0011585 (2017-02-02) |
등록번호 | 10-2433337-0000 (2022-08-11) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150104434 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-03-20) |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 탄소수 3 내지 6의 1차 알코올, 과산화수소, 함불소 화합물, 아졸 화합물, 유기산, 인산 또는 인산염 화합물 및 물을 포함하는 구리계 금속막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 상기 식각액 조성물은 발열 안정성이 우수하여 식각 공정상의 안정성을 향상시킬 수 있다.
식각액 조성물 총 중량에 대하여, 화학식 1의 화합물 0.1 내지 10 중량%, 과산화수소 3 내지 25 중량%, 함불소 화합물 0.01 내지 5 중량%, 아졸 화합물 0.1 내지 5 중량%, 유기산 1 내지 10 중량%, 인산 또는 인산염 화합물 0.3 내지 10 중량% 및 식각액 조성물 총 중량이 100 중량%가 되도록 잔량의 물을 포함하는 구리계 금속막 식각용 식각액 조성물로,상기 화학식 1의 화합물은 1-프로판올 및 1-뷰탄올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것이며,상기 유기산은 시트르산을 포함하며, 상기
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