초록 ▼

본 발명은 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복합막을 단일 챔버에서 증착할 수 있는 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 복합막 증착장치는 기판을 지지하는 기판 지지대; 상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는

본 발명은 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복합막을 단일 챔버에서 증착할 수 있는 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 복합막 증착장치는 기판을 지지하는 기판 지지대; 상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈을 왕복 운동시키는 구동부를 포함하고, 상기 선형 원자층 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제1 소스물질을 분사하는 제1 소스물질 노즐과 제1 반응물질을 분사하는 제1 반응물질 노즐을 포함하며, 상기 선형 화학기상 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제2 소스물질을 분사하는 제2 소스물질 노즐과 제2 반응물질을 분사하는 제2 반응물질 노즐을 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

기판을 지지하는 기판 지지대;상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈을 왕복 운동시키는 구동부를 포함하고,상기 선형 원자층 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제1 소스물질을 분사하는 제1 소스물질 노즐과 제1 반응물질을 분사하는 제1 반응물질 노즐을 포함하며,상기 선형 화학기

기판을 지지하는 기판 지지대;상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈을 왕복 운동시키는 구동부를 포함하고,상기 선형 원자층 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제1 소스물질을 분사하는 제1 소스물질 노즐과 제1 반응물질을 분사하는 제1 반응물질 노즐을 포함하며,상기 선형 화학기상 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제2 소스물질을 분사하는 제2 소스물질 노즐과 제2 반응물질을 분사하는 제2 반응물질 노즐을 포함하고,상기 제2 반응물질 노즐은 상기 선형 화학기상 증착원의 중앙부에 위치하며,상기 제2 소스물질 노즐은 상기 제2 반응물질 노즐의 양측에 배치되는 복합막 증착장치.