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[한국특허] 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치
Apparatus for depositing composite layer, method for depositing the same and apparatus for depositing hybrid passivation film
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IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-051/00
  • H01L-021/205
  • H01L-021/312
  • H01L-021/314
  • H01L-051/10
  • H01L-051/44
  • H01L-051/52
출원번호 10-2015-0051786 (2015-04-13)
공개번호 10-2016-0121923 (2016-10-21)
등록번호 10-1994896-0000 (2019-06-25)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150051786
발명자 / 주소
  • 이재승 / 경기도 수원시 영통구 효원로 ***, ***동 ****호 (매탄동, 신매탄위브하늘채아파트)
  • 김성열 / 경기도 성남시 분당구 판교로 ** (*단지 ***동 ***호)
출원인 / 주소
  • 에이피시스템 주식회사 / 경기도 화성시 동탄면 동탄산단*길 **-* ()
대리인 / 주소
  • 남승희; 안준형
심사청구여부 있음 (2017-05-16)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복합막을 단일 챔버에서 증착할 수 있는 복합막 증착장치, 복합막 증착방법 및 하이브리드 봉지막 증착장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 복합막 증착장치는 기판을 지지하는 기판 지지대; 상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는

대표청구항

기판을 지지하는 기판 지지대;상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는 선형 원자층 증착원과 선형 화학기상 증착원을 포함하며, 상기 기판에 대응되어 위치하는 증착모듈; 및상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈과 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 기판 지지대 또는 상기 증착모듈을 왕복 운동시키는 구동부를 포함하고,상기 선형 원자층 증착원은 상기 제1 축 방향으로 나란히 배치된 제1 소스물질을 분사하는 제1 소스물질 노즐과 제1 반응물질을 분사하는 제1 반응물질 노즐을 포함하며,상기 선형 화학기

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 다성분계 박막의 형성 방법 및 그를 이용한 커패시터의제조 방법 | 조호진
  2. [한국] 박막증착장치 및 그에 사용되는 리니어소스 | 조생현

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 버퍼층을 포함하는 금속 산화물막 증착 방법 | 김형준, 오일권, 서승기, 이유진
  2. [한국] 봉지막 증착방법 및 봉지막 증착장치 | 이재승, 정태훈, 황동의
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