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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0057402 (2015-04-23) | |
공개번호 | 10-2016-0126395 (2016-11-02) | |
등록번호 | 10-1704188-0000 (2017-02-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150057402 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-04-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 반도체 직접회로의 전기적 특성을 검사하는 프로브 카드(probe card)에 관한 것이다. 본 발명은; 공간변형기와 전기적으로 연결되어 있으며, 테스터와 전기적 연결을 할 수 있도록 표면에 테스터 전극이 형성되어 있는 회로기판과; 회로기판과 프로브를 전기적으로 연결하며, 프로브가 접촉되어 전기적 신호를 전달할 수 있는 프로브 전극이 표면에 형성되어 있는 공간변형기와; 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와; 상기 공간변형기와 상기 제1
공간변형기와 전기적으로 연결되어 있으며, 공간변형기로부터 받은 전기적 신호를 테스터에 전달하는 역할을 하며, 테스터와 전기적 연결을 할 수 있도록 표면에 테스터 전극이 형성되어 있는 회로기판과; 상기 회로기판과 프로브 사이에 위치하며, 회로기판과 프로브를 전기적으로 연결하며, 프로브가 접촉되어 전기적 신호를 전달할 수 있는 프로브 전극이 표면에 형성되어 있는 공간변형기와; 플레이트의 넓은 면이 시험체와 마주보게 되며, 프로브가 삽입 설치되는 복수의 프로브 홀이 형성되어 있는 제1 가이드 플레이트와;상기 공간변형기와 상기 제1 가이드
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