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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0066784 (2015-05-13) | |
| 공개번호 | 10-2016-0133796 (2016-11-23) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150066784 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-05-13) | |
| 심사진행상태 | 거절결정(재심사) | |
| 법적상태 | 거절 |
공정챔버로부터 배출되는 배기가스를 냉각하여 파우더를 포집하는 트랩장치가 개시된다. 상기 트랩장치는, 배출구가 형성된 뚜껑이 일측에 분리가능하게 결합하고 전단에 유입구가 형성된 하우징; 상기 하우징 내부에 길이방향으로 이격하여 설치되는 다수의 트랩; 및 상기 각 트랩에 열 접촉하는 평면 나선 형상의 냉각코일과, 상기 각 냉각코일이 공통으로 연결되는 냉각배관으로 구성된 냉각유닛을 포함한다.
공정챔버로부터 배출되는 배기가스를 냉각하여 파우더를 포집하는 트랩장치로서,배출구가 형성된 뚜껑이 일측에 분리가능하게 결합하고 전단에 유입구가 형성된 하우징;상기 하우징 내부에 길이방향으로 이격하여 설치되는 다수의 트랩; 및상기 각 트랩에 열 접촉하는 평면 나선 형상의 냉각코일과, 상기 각 냉각코일이 공통으로 연결되는 냉각배관으로 구성된 냉각유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조공정용 파우더 트랩장치.
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