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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0080969 (2015-06-09) | |
공개번호 | 10-2016-0144612 (2016-12-19) | |
등록번호 | 10-2430643-0000 (2022-08-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150080969 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-05-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
스테이지의 위치 보정 방법은 작업 대상물이 안착되는 스테이지의 위치를 보정하는 스테이지의 위치 보정 방법에 있어서, 상기 스테이지의 3군데 이상에 마킹된 인식 마크를 비전(vision) 부재를 사용하여 측정하는 단계; 상기 비전 부재를 사용하여 측정한 측정값과 상기 스테이지의 기준 위치를 나타내는 기준값을 비교하여 상기 측정값과 상기 기준값에 대한 오차를 확인하는 단계; 및 상기 측정값과 상기 기준값에 대한 오차로부터 상기 스테이지의 위치에 대한 변형 유무를 확인하여 상기 스테이지의 위치를 보정하는 단계를 포함한다.
작업 대상물이 안착되는 스테이지의 위치를 보정하는 스테이지의 위치 보정 방법에 있어서, 상기 스테이지의 3군데 이상에 마킹된 인식 마크를 비전(vision) 부재를 사용하여 측정하는 단계; 상기 비전 부재를 사용하여 측정한 측정값과 상기 스테이지의 기준 위치를 나타내는 기준값을 비교하여 상기 측정값과 상기 기준값에 대한 오차를 확인하는 단계; 및 상기 측정값과 상기 기준값에 대한 오차로부터 상기 스테이지의 위치에 대한 변형 유무를 확인하여 상기 스테이지의 위치를 보정하는 단계를 포함하되, 상기 비전 부재는 상기 스테이지가 포함되는
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