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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0081080 (2015-06-09) | |
| 등록번호 | 10-1586623-0000 (2016-01-13) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150081080 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-06-09) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 후 보정검사를 통해 얻어진 기 합착된 디스플레이패널의 합착 데이터 값을 토대로 제1,2기판 합착 전 어느 하나의 기판의 정렬상태가 보정되도록 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치에 관한 것으로, 상기 제1기판과 제2기판 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버의 상부에 배치되며, 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버와 선택적으로 결합되어 상기 제1기판과 제2기판이 합착되는 진공챔버를 형성하는 상부챔버; 및 상기 상부챔버의 상측에 설치
제1기판(LCM)과 제2기판(TSM)이 합착된 디스플레이패널의 합착상태를 후 보정검사를 통한 데이터 값을 토대로 상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판의 합착방향이 보정되도록 하는 진공챔버 합착 스테이지 보정장치(400)에 있어서,상기 제1기판(LCM)과 제2기판(TSM) 중 어느 하나의 기판이 흡착 지지되는 상부가 개방된 하부챔버(190)의 상부에 배치되며, 다른 하나의 기판이 안착되는 적어도 하나의 스테이지(200)가 구비된 상태로 상하 반전과 승강을 통해 상기 하부챔버(190)와 선택적으로 결합되어 상
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