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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0086559 (2015-06-18) | |
공개번호 | 10-2016-0149494 (2016-12-28) | |
등록번호 | 10-1702640-0000 (2017-01-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150086559 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-06-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
엑스레이 검사장치가 개시된다. 개시된 엑스레이 검사장치는 엑스레이를 차폐하는 캐비닛; 상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부; 상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치; 상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및 상기 엑스레이 발생장치와 상기
엑스레이를 차폐하는 캐비닛;상기 캐비닛의 내부에 배치되며, 피검사 대상물이 장착되고, X축 및 Y축을 따라 이동 가능한 피검사 대상물 배치부;상기 피검사 대상물의 일측에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치부를 향해 엑스레이를 조사하기 위한 주사구를 구비하는 엑스레이 발생장치;상기 피검사 대상물 배치부의 타측에 배치되며, 상기 피검사 대상물을 투과한 엑스레이를 검출하기 위해 상기 피검사 대상물 배치부의 이동에 대응하여 이동 가능한 디텍터; 및상기 엑스레이 발생장치와 상기 피검사 대상물 배치부 사이에 배치되며, 상기 피검사 대상물 배치
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