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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0086722 (2015-06-18) | |
공개번호 | 10-2016-0149557 (2016-12-28) | |
등록번호 | 10-1760811-0000 (2017-07-18) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150086722 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-06-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것으로써, 특히, 기판에는 다수개의 포어가 상하방향으로 관통되어 형성되어, 단열성이 향상되어 저전력을 이용하여 고온으로 온도를 높일 수 있는 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것이다.
기판;상기 기판 상에 형성되는 히터전극을 포함하며,상기 기판에는 다수개의 포어가 상하방향으로 관통되어 형성되며,상기 히터전극 주위에 다수개의 공기기둥이 배치되어 단열성이 향상되고,상기 히터전극은 히터배선과 상기 히터배선에 연결되는 히터전극패드를 포함하며,상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 영역에서, 상기 기판의 상면에서 하면까지 모두 제거되어 형성되는 에어갭이 구비된 것을 특징으로 하는 마이크로 히터.
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