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연합인증

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마이크로 히터 및 마이크로 센서 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H05B-003/78
  • G01N-027/407
  • H05B-003/03
  • H05B-003/06
  • H05B-003/56
출원번호 10-2015-0125572 (2015-09-04)
공개번호 10-2017-0028668 (2017-03-14)
등록번호 10-1808239-0000 (2017-12-06)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150125572
발명자 / 주소
  • 안범모 / 경기도 용인시 기흥구 연원로**번길 *, ***동 ***호
  • 박승호 / 경기도 화성시 향남읍 행정중앙*로 **, ***동 ****호
  • 변성현 / 충청남도 아산시 온천대로 ****-**
출원인 / 주소
  • (주)포인트엔지니어링 / 충청남도 아산시 둔포면 아산밸리로 **
대리인 / 주소
  • 특허법인다래
심사청구여부 있음 (2015-09-04)
심사진행상태 등록결정(재심사후)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 제1지지부 상에 에칭방지 댐이 형성되어, 제1지지부가 일정 형태를 유지함으로써 제1지지부의 열용량이 작고, 온도 균일성이 향상된 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것이다.

대표청구항

다공층으로 형성된 기판;상기 기판 상에 형성되는 히터전극으로서, 상기 기판 상에서 연장되는 발열성의 발열배선을 포함하는 히터전극;상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 상기 기판의 영역에서, 상기 발열배선을 둘러싸도록 상기 기판의 상면에서 하면까지 관통되어 형성된 공간인 에어갭; 및 상기 기판 상에서 형성되어 상기 발열배선과 상기 에어갭의 사이에서 상기 발열배선에 인접하도록 배치되는 에칭방지 댐;을 포함하는 마이크로 히터.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 산화 알루미늄 다공층을 갖는 습도 센서 및 이의 제조 방법 | 박현철, 김혜진, 황운봉, 김영득, 이건홍
  2. [한국] 저전력 구동을 위한 마이크로 반도체식 가스 센서 및 그 제조 방법 | 이대식, 정문연, 김승환
  3. [일본] GAS SENSOR | ARANISHI KAZUYA
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